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閱讀：45發(fā)布時(shí)間：2023-2-11
一般的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要由測(cè)量室、光源、氣泵濾波器、流量監(jiān)測(cè)、光檢測(cè)器和必要的電路系統(tǒng)組成，它們各自在不同的區(qū)域發(fā)揮著不同的作用，那么這些軟件功能是什么呢？下面我們一起來探索這其中的奧秘吧！
1、測(cè)量室
測(cè)量室是觀察顆粒的空間，收集的空氣通過測(cè)量室。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源通過透鏡?狹縫照射測(cè)量室，以形成體積約為幾立方毫米的光敏區(qū)域。當(dāng)空氣中的灰塵通過光敏區(qū)域時(shí)，一部分光能被聚光透鏡以入射光的角度（90度或70度）散射，然后投射到光電探測(cè)器上。
2、空氣泵和過濾器
空氣泵位于儀器內(nèi)部，允許儀器產(chǎn)生樣品流?？諝獗眯枰驮胍?、小振動(dòng)、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應(yīng)能過濾掉大于0.3μm的顆粒，以防止從儀器排出的空氣影響清潔區(qū)域。
3、光探測(cè)器光電探測(cè)器是將散射光能轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換裝置。塵埃粒子計(jì)數(shù)器中常用的光電探測(cè)器是光電倍增管和光電二ji管。
光電倍增管將光電子轉(zhuǎn)換成數(shù)萬次，并將其轉(zhuǎn)換成幾毫伏到幾十毫伏的電信號(hào)。它具有良好的光譜線性。?快速響應(yīng)時(shí)間?小暗電流的優(yōu)點(diǎn)很短。當(dāng)光電倍增管工作時(shí)，需要增加幾百伏的負(fù)高壓。儀器中有相應(yīng)的高壓發(fā)生電路。調(diào)試或校準(zhǔn)儀器時(shí)要注意。
4、流量監(jiān)控
粉塵顆粒計(jì)數(shù)器的取樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，進(jìn)口儀器通常標(biāo)記為0.1cfm（立方英尺/分鐘）或1cfm，主要是為了方便Fed-Std-209E。
5、電路系統(tǒng)
通過塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換不同粒徑的粒子，并產(chǎn)生不同幅度（電壓）的電脈沖信號(hào)。粒徑越大，脈沖電壓越高。信號(hào)電壓和粒徑之間的關(guān)系也稱為轉(zhuǎn)換靈敏度。對(duì)于給定的塵埃粒子計(jì)數(shù)器，粒徑與脈沖電壓一一對(duì)應(yīng)。例如，塵埃粒子計(jì)數(shù)器的轉(zhuǎn)換靈敏度對(duì)于69mv為0.3μm，對(duì)于531mv為0.5μm，對(duì)于701mv為1.0μm等，如果塵埃粒子計(jì)數(shù)器當(dāng)檢測(cè)到100mv的脈沖時(shí)，其大小為顆粒當(dāng)然大于0.3μm且小于0.5μm。
一般在我們?nèi)粘Ｉ钪?，使用激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用來檢測(cè)過濾器是否有泄漏現(xiàn)象，從而避免空氣過濾器泄漏而影響整個(gè)生產(chǎn)。塵埃粒子計(jì)數(shù)器主要作用即是檢測(cè)各點(diǎn)的懸浮粒子是否超出潔凈區(qū)要求的范圍，如果是則有泄漏現(xiàn)象，需堵漏或更換。
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