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英國(guó)VacCoat 系列離子濺射儀

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北京歐波同

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

VacCoat鍍膜儀，可提供晶粒尺寸很細(xì)的高質(zhì)量均勻薄膜，十分適用于高分辨率和高質(zhì)量樣品的表征。

詳細(xì)介紹

VacCoat公司
Vac Coat有限公司是高質(zhì)量定制物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)的設(shè)計(jì)者和制造商，客戶服務(wù)和售后服務(wù)出色。擁有25年以上真空和薄膜沉積技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。其研發(fā)團(tuán)隊(duì)在學(xué)界科學(xué)家和工程師的支持下，高度積極地開發(fā)新設(shè)計(jì)以滿足客戶的特殊要求。

Vac Coat的工程團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)和制造的組件符合高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。Vac Coat的真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)已通過遍布的分銷商銷往許多大學(xué)和研究中心，并得到了很好的參考和反饋。

1、DSR1

儀器描述：
該產(chǎn)品為臺(tái)式磁控濺射鍍膜機(jī)，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動(dòng)控制，設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 7’’彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速

? 通過觸摸屏中直觀檢測(cè)數(shù)據(jù)和曲線；歷史頁面可顯示300個(gè)歷史涂層信息。
? 可控鍍膜速率，可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
? 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射
? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件

? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀（精度可達(dá)1nm）

? 樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來更好的噴金效果。

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

? 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)：

? 2英寸磁控管陰極

? 兩級(jí)直驅(qū)4m3/h旋片機(jī)械泵

? Pyrex樣品倉(cāng)：外徑170mm，高140mm，

? 尺寸：50(W) x 37(D) × 45(H) Cm

? 運(yùn)輸重量（包括真空泵）：42kg

? 電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A

? 極限真空度：小于40 mTorr

? 電子控制快門

? 電子控制真空閥

2、DCR

儀器描述：
DCR是一臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊的臺(tái)式鍍碳儀?？捎糜趻呙桦娮语@微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）和能譜分析（EDX）制樣。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 可進(jìn)行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統(tǒng)鍍碳相比，碎屑顯著減少

? 7’’彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測(cè)；歷史頁面可顯示300個(gè)歷史涂層信息。
? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖表

? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀（精度可達(dá)1nm）

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

? 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)：

1、真空泵：二極直驅(qū)旋片機(jī)械泵（4m3/h)

2、極限真空度：小于50 mTorr

3、Pyrex 樣品倉(cāng)：外徑170mm，140mm，

4、0-25A脈沖直流開關(guān)電源

5、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H x W x D)

6、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A

7、電子控制快門

8、精密真空壓力控制閥

9、USB數(shù)據(jù)傳輸端口

10、運(yùn)輸重量：46kg

3、DSCR

儀器描述：
DSCR型臺(tái)式多功能鍍膜儀，是一臺(tái)緊湊型涂布系統(tǒng)，集離子濺射系統(tǒng)和鍍碳系統(tǒng)于一體。該系統(tǒng)能夠在不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠飞蠟R射金（Au）、鈀（Pd）、鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）等貴金屬，并且可以在樣品上鍍上碳膜。
DSCR是一臺(tái)多功能掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備。全自動(dòng)操作選項(xiàng)使得即使是初學(xué)者，也可以輕松使用系統(tǒng)，形象的用戶友好軟件，簡(jiǎn)化了對(duì)沉積信息的感知。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 精密可復(fù)制涂層：可重復(fù)膜厚沉積
? 高分辨率精細(xì)涂層（金顆?？蛇_(dá)2nm）
? 低壓濺射
? 無需冷卻系統(tǒng)
? 可進(jìn)行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統(tǒng)鍍碳相比，碎屑顯著減少可使用雙碳纖維蒸鍍，用于厚層沉積
? 易于操作：7’’彩色觸摸屏直觀控制涂布過程，數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速
? 用戶友好的全自動(dòng)及半自動(dòng)控制軟件
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀（精度可達(dá)1nm）
? 樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)：
1、真空泵：二極直驅(qū)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵（4m3/h)
2、Pyrex 樣品倉(cāng)：外徑170mm，140mm，
3、儀器尺寸：45（H）x50（W）37×（D）Cm
4、2英寸磁控管陰極
5、極限真空度：小于50 mTorr
6、電子控制快門
7、自動(dòng)控制泄露閥
8、電源：220V-240V, 50/60HZ- 10A
9、80W直流開關(guān)電源
10、運(yùn)輸重量：42kg

4、DST1-170

產(chǎn)品描述：
DST1-170是一臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊的臺(tái)式磁控離子濺射儀。適用于金屬材料濺射，包括惰性金屬以及氧化性金屬，DST1-170配有直徑為2英寸的磁控管陰極。在較短時(shí)間內(nèi)即可形成晶粒尺寸均勻的薄膜。
DST1-170高真空濺射儀，可提供高質(zhì)量的均勻薄膜，具有較細(xì)的晶粒尺寸，十分適用于樣品的高分辨和高品質(zhì)表征，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD，也可應(yīng)用于科研和各種薄膜的應(yīng)用研究中，如：納米和微電子、太陽能電池應(yīng)用、光學(xué)元件涂層合薄膜傳感器等。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級(jí)旋片式真空泵的前級(jí)泵，為儀器提供了潔凈的高真空，減少了污染。

? 涂層速率可控，可獲得更細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)

? 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射

? 7’’彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測(cè)；歷史頁面可顯示300個(gè)歷史涂層信息。

? 觸摸屏直觀地控制涂布過程，數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速

? 可通過網(wǎng)絡(luò)更新的用戶友好軟件

? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖

? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀（精度可達(dá)1nm）

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

? 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)：

1、高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）

2、二極直驅(qū)旋片機(jī)械泵（4m3/h)

3、極限真空：小于5x10-6 Torr

4、獨(dú)立于壓力自動(dòng)控制濺射功率

5、全量程真空計(jì)（Leybold）

6、ISO-KF 63蝶形閥

7、80 W直流電源

8、電子控制快門

9、電控氬氣泄漏閥

10、設(shè)施：220V-240V，50/60HZ-16A

11、運(yùn)輸重量：36kg

5、DCT

產(chǎn)品描述：
DCR是一臺(tái)裝有渦輪泵的碳鍍儀，可提供細(xì)粒度均勻的高質(zhì)量碳膜，適用于需要高分辨率和高質(zhì)量表征的樣品，尤其適合FE-SEM，EDS/WDS，TEM，EBSD和薄膜應(yīng)用研究等。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 可進(jìn)行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統(tǒng)鍍碳相比，碎屑顯著減少
? 7’’彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測(cè)；歷史頁面可顯示300個(gè)歷史涂層信息。
? 可聯(lián)網(wǎng)更新用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖表

? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀（精度可達(dá)1nm）

? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C

? 可選用碳棒蒸發(fā)源及適配大電流電源

? 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)：

1、高真空渦輪分子泵90 l/s Leybold

2、二級(jí)旋片式真空泵作為分子泵前級(jí)泵

3、全量程真空計(jì)

4、真空倉(cāng)：外徑170mm，140mm

5、0-25A脈沖直流開關(guān)電源

6、極限真空度：小于50×10-6 Torr

7、尺寸：450 x 500 x 370 mm (H × W × D)

8、電源：220V-240V，50 / 60HZ-10A

9、用于精確控制真空壓力的精密計(jì)量閥

10、電子控制快門

11、涂層參數(shù)實(shí)時(shí)圖

12、USB數(shù)據(jù)傳輸端口

13、運(yùn)輸重量：46kg

6、DSCT

產(chǎn)品描述：
DSCT是一臺(tái)多功能的涂布系統(tǒng)，集濺射鍍膜機(jī)和纖維碳鍍膜機(jī)于一體：在一臺(tái)儀器中具有可互換的磁頭。
DSCT高真空鍍膜機(jī)，可提供晶粒尺寸很細(xì)的高質(zhì)量均勻薄膜，適用于需要高分辨率和高質(zhì)量表征的樣品，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。
DSCT具有2''磁控管陰極，80w直流開關(guān)電源和碳蒸發(fā)大電流電源，也可用于科研及不同薄膜的應(yīng)用研究中。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 高真空渦輪泵90 L/S（Leybold）+二級(jí)旋片式真空泵的前級(jí)泵，為儀器提供了潔凈的高真空，減少了污染。

? 涂層速率可控，可獲得更細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
? 可進(jìn)行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統(tǒng)鍍碳相比，碎屑顯著減少
? 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射
? 7’’彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速；真空度、電流、厚度等鍍膜參數(shù)可通過觸摸屏中的數(shù)據(jù)或曲線直觀監(jiān)測(cè)；歷史頁面可顯示300個(gè)歷史涂層信息。
? 觸摸屏直觀地控制涂布過程，數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速
? 可通過網(wǎng)絡(luò)更新的用戶友好軟件
? 可記錄和繪制涂層參數(shù)圖
? 可配高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀（精度可達(dá)1nm）
? 樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)為多孔樣品帶來更好的噴金效果。
? 可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
? 符合CE標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)：
1、極限真空：小于5×10-6 Torr
2、獨(dú)立于壓力自動(dòng)控制濺射速率
3、用于精確控制真空壓力的精密質(zhì)量流量計(jì)（MFC）
4、可通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
5、設(shè)施：220V-240V，50/60HZ-16A
6、運(yùn)輸重量：42kg

整體型號(hào)的選型：

儀器特點(diǎn)

VacCoat擁有離子濺射噴金儀、鍍碳儀，以及集噴金與鍍碳于一體的型號(hào)，用戶可根據(jù)不用應(yīng)用，選擇高真空以及低真空的不同型號(hào)。
VacCoat鍍膜儀，可提供晶粒尺寸很細(xì)的高質(zhì)量均勻薄膜，十分適用于高分辨率和高質(zhì)量樣品的表征。
?噴金系統(tǒng)具有2''磁控管陰極，磁控建設(shè)，減少樣品的損傷；
?鍍碳系統(tǒng)配備80w直流開關(guān)電源和碳蒸發(fā)大電流電源，也可用于科研及不同薄膜的應(yīng)用研究中。
?鍍碳系統(tǒng)可進(jìn)行Flash式或Pulsed式鍍碳：Pulsed脈沖式鍍碳：短脈沖提供了更加可控的沉積方式，與傳統(tǒng)鍍碳相比，碎屑顯著減少
?高真空型號(hào)配備渦輪分子泵90 l/s Leybold
?使用二級(jí)旋片式真空泵作為分子泵前級(jí)泵
?配有全量程真空計(jì)
?可選用高精度石英晶體厚度監(jiān)測(cè)器，測(cè)厚精度可達(dá)1nm。
?觸摸屏直觀地控制涂布過程，數(shù)據(jù)輸入簡(jiǎn)單快速
?可通過網(wǎng)絡(luò)更新的用戶友好軟件
?可控涂層速率，可獲得更細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
?可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射，建設(shè)操作靈活簡(jiǎn)便
?可記錄和繪制涂層參數(shù)圖
?配備電控快門
?樣品臺(tái)更換簡(jiǎn)單：標(biāo)準(zhǔn)樣品架，高度可調(diào)可選轉(zhuǎn)；也可選用適合多孔樣品的行星式旋轉(zhuǎn)樣品架