大口徑激光干涉儀
ZYGO大口徑激光干涉儀系統(tǒng)是雙通道測量系統(tǒng)，小口徑4"測量通道和大口徑測量通道均具有多種高精度測量模式，如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動態(tài)測量等。大口徑激光干涉儀從常規(guī)的4英寸口徑拓展到12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸和36英寸。 大口徑激光干涉儀包括? 激光干涉儀主機(jī)(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調(diào)制主機(jī))
? MUX分光器（光束轉(zhuǎn)換器）
? 擴(kuò)束器（12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選）
? 機(jī)械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調(diào)制測量技術(shù)
? 參考光束-透射平板和參考平板是光學(xué)系統(tǒng)必需的附件
? 調(diào)整架-用于調(diào)整參考光束和測試光束的位置
大口徑激光干涉儀系統(tǒng)組件可以與干涉儀主機(jī)分開購買，如果您需要系統(tǒng)測量和配置方面的具體信息請聯(lián)系我們
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