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深圳市嘉士達精密儀器有限公司


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非接觸式單點薄層電阻測試儀EddyCus TF lab 2020SR

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品       牌

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更新時間:2022-05-22 09:10:27瀏覽次數(shù):639次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:162條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:anna (銷售)

產(chǎn)品簡介

非接觸式單點薄層電阻測試儀EddyCusTFlab2020SR產(chǎn)品簡介EddyCusTFlab2020SR是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)

詳細介紹

非接觸式單點薄層電阻測試儀EddyCus TF lab 2020SR

產(chǎn)品簡介

EddyCus® TF lab 2020SR 是一種非接觸式單點薄層電阻測量系統(tǒng)。該設備包含一個渦流傳感器組,可將微弱電流感應到導電薄膜和材料中。樣本中的感應電流會產(chǎn)生與測量對象的薄層電阻相關的電磁場。該技術獨立于表面特征或形態(tài)。此外,它不需要任何類型的充分樣品接觸或準備,例如從 2 點或 4 點探針測試(2PP、4PP)或霍爾效應或范德堡測量中得知。它既不需要設置測試結構,也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外,測量不會對測試的薄膜產(chǎn)生物理影響。由于存在機械磨損,渦流儀器具有較長的使用壽命。它獨立于接觸質量和高速,可實現(xiàn)高重復性和準確性,有利于研發(fā)和測試實驗室中各種薄膜的系統(tǒng)質量保證。 EddyCus 工具可以由具有各種數(shù)據(jù)記錄和導出功能的 SURAGUS 軟件驅動,也可以由 SURAGUS 軟件開發(fā)套件驅動的客戶軟件驅動。

產(chǎn)品優(yōu)勢

軟件和設備控制

1、非常人性化的軟件
2、直觀的觸摸顯示屏導航
3、實時測量薄層電阻和層厚
4、軟件輔助手動映射選項
5、各種數(shù)據(jù)保存和導出選項


技術參數(shù)


測量技術

非接觸式渦流傳感器

基質

箔、玻璃、晶片等。

基底面積

8英寸/ 204毫米x 204毫米(三面開口)

大值樣品厚度/傳感器間隙

3 / 5 / 10 / 25毫米(由厚的樣品確定)

金屬薄膜(如銅)的厚度測量范圍

2納米–2毫米(根據(jù)薄層電阻)

設備尺寸(寬高比)

11.4英寸x 5.5英寸x 17.5英寸/ 290毫米x 140毫米x 445毫米

重量

10公斤

更多可用功能

薄層電阻測量/金屬厚度監(jiān)控器

 

 

 

VLSR

LSR

MSR

HSR

VHSR

 

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy

Range [Ohm/sq]

0.0001 – 0.1

0.1 – 10

0.1 – 100

10 – 2000

1,000 – 200,000

Accuracy / Bias

± 1%

± 1 – 3%

± 3 – 5%

Repeatability (2σ)

< 0.3%

< 0.5%

< 0.3%



產(chǎn)品相冊

關鍵詞:傳感器

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