HSR-8000共聚焦顯微鏡可對(duì)待測(cè)物的表面進(jìn)行非接觸式三維形貌掃描，獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數(shù)指標(biāo)，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品性能：

1、高精度、高重復(fù)性

采用針孔，共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)保證測(cè)量精度高；

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作，無須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能;

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程;

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程;

4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量原理		針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
顯微物鏡		10x,20x,50x,100x
視場范圍		120x120?~1.2x1.2 mm
掃描幀率		≥4HZ
高度測(cè)量	重復(fù)性*1	20nm
	精度*1	±(0.2+L/100)?
	顯示分辨率	0.5nm
寬度測(cè)量	重復(fù)性*2	40nm
	精度*2	2%
	顯示分辨率	Inm
XY位移平臺(tái)	尺寸	200×200mm
	移動(dòng)范圍	100×100mm
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動(dòng)
Z0軸掃指	范圍	10mm
Z0軸掃描步長		20nm-150nm
Z向移動(dòng)范圍		100mm
物鏡塔臺(tái)		5孔電動(dòng)
光源		白光LED
外形尺寸		540379594mm
總重量		45kg
工作電源		AC 220V/50HZ
工作環(huán)境		溫度10°C~35°C,溫度梯度＜1°C/15分鐘，濕度30-80%振動(dòng)＜0.002g,低于15Hz