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UB5000硅片檢測(cè)顯微鏡

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重慶留輝科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

硅片、電路基板、FPD、精密模具工業(yè)顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗(yàn)和科學(xué)研究

詳細(xì)介紹

大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡、圖像清晰，襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用。可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。

技術(shù)規(guī)格
觀察頭	30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm）
目鏡	WF10×/25mm
目鏡	WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
轉(zhuǎn)換器	帶DIC插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器
物鏡	平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡：5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
平臺(tái)	雙層移動(dòng)平臺(tái)
	平臺(tái)尺寸: 350mm×310mm
	移動(dòng)范圍：250mm×250mm
濾色片	插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）
調(diào)焦	粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 微動(dòng)格值0.002mm
光源	落射照明：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V/100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
偏光裝置	檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測(cè)工具	0.01mm測(cè)微尺
可供附件	目鏡：WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
	300萬、500萬、900萬、1400萬像素CMOS芯片數(shù)字?jǐn)z像頭
	平場(chǎng)無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
	二維測(cè)量軟件
	專業(yè)金相圖像分析軟件
	DIC（10×、20×、40×、100×）
	攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
	壓平機(jī)
	彩色CCD 芯片 300萬，500萬，800萬像素?cái)z像頭