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廣州貝拓科學(xué)技術(shù)有限公司

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Delta薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)Delta

品牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間:2021-08-25 14:56:17瀏覽次數(shù):223次

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Delta薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線(xiàn)。Delta根據(jù)反射回來(lái)的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測(cè)量n和k值。

產(chǎn)品介紹

價(jià)格區(qū)間面議

Delta薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)品特點(diǎn)

快速、準(zhǔn)確、無(wú)損、靈活、易用、性?xún)r(jià)比高

Delta薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用案例

應(yīng)用領(lǐng)域

                      半導(dǎo)體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)         LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)                                   

LED (SiO2、光刻膠ITO等)                      觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等) 

               

 汽車(chē)(防霧層、Hard Coating DLC等)             醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/*壁厚藥膜等)

Delta薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

波長(zhǎng)范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準(zhǔn)確度1

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測(cè)量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線(xiàn)

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

XY可選 

膜厚儀

薄膜測(cè)厚儀膜厚儀探頭同位接收反射光線(xiàn)。TF200根據(jù)反射回來(lái)的干涉光,

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