型號：RTP-1000-LCD
產(chǎn)品概述：RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速熱處理) 管式爐。包括多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，在操控的同時，可實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。他專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。 這款設(shè)備是采用12KW的紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，儀表控溫精度是 +/-1℃。RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。
| 設(shè)備名稱 | 900℃帶多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)RTP管式爐—RTP-1000-LCD （2019.12.24—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> 3、配件妥善保管提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主要特點(diǎn) | · 快速升溫，達(dá)50℃/s。 · 配有多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，在操控的同時，可實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。 · 超大管徑φ110mm。 · 溫度可達(dá)900℃。 · 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。 · 開門斷電。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 基本參數(shù) | · 工作溫度：900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長期) · 升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s · 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 · 加熱區(qū)長度：190mm · 加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW) · 功率：12KW(>60A 保險(xiǎn)) · 設(shè)備電源：AC220V/50HZ 單相 · 循環(huán)水流量:0.5 m3/h · 標(biāo)配流量計(jì)量程范圍：16-160 ml/min · 多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)參數(shù) · 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相 · 功率：23W
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| 多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng) | · 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進(jìn)入加熱管。 · 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便。 · 采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作。 · 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔，用于插入K型熱電偶。 · 熱電偶：K型，熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C · 熱電偶型號：K型 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 開門斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認(rèn)證 | · 所有電氣部件均為UL認(rèn)證，并可通過TUV、CSA認(rèn)證 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 國家 | · 名稱：一種快速高溫退火爐 · 編號：ZL-2011-2-0077168.4 · 尊重創(chuàng)新：鄙視抄襲、侵權(quán)必究 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
環(huán)保在線