型號：SP-50KT // SP-85KTC
產(chǎn)品概述：溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)，帶進料前級系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置。石英前級腔室可將各種原材料導(dǎo)入到熔煉坩堝內(nèi)，而不影響主腔室的環(huán)境。
| 名稱 | 溫控型真空感應(yīng)加熱爐系列 | ||||
| 視頻 |
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| 型號 |
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| 感應(yīng)電源 | ·工作電壓：380V，50Hz，三相 ·空氣開關(guān)：需要100A空氣開關(guān) ·輸入功率: 15KW ·輸出頻率:30-80kHz ·保護系統(tǒng)：帶有自動水壓、過熱、功率過高保護 | ||||
| 溫控系統(tǒng)和熱電偶 | ·精密數(shù)顯溫控系統(tǒng)，采用PID調(diào)節(jié)方式 ·可設(shè)置30段升降溫程序 ·帶有過熱和斷偶保護 ·控溫精度：±5 oC ·熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mmL ) ·連續(xù)工作溫度.: 1000oC~1900oC ·溫度：2000oC（<30min） ·升溫速率: 1度/秒 1000-1200oC； 1度/2秒 1200oC-1500oC ； 1度/4秒 1500oC-2000oC | ||||
| 石墨坩堝，耐火材料和防護罩 |
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| 密封法蘭和石英腔體 |
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| 真空計 | ·防腐真空計,測量范圍3.8*10E-5托 ·一個輸出電壓24v、1A直流電源適配器。適配器的輸入電壓是單相110~240v。 | ||||
| 浮子流量計 | 緊湊型直讀浮子流量計，100-1000scc/min。精度:4%。 | ||||
| 泄壓閥 | 為了安全考慮，在腔體內(nèi)安裝泄壓閥，當(dāng)壓力大于0.02MPa時，閥門會自動釋放壓力，保證安全。 | ||||
| 循環(huán)水冷機（可選） | ·溫度范圍：5～30℃ ·水流量：16L/min ·水箱：不銹鋼材質(zhì)，容積為12L。
注意：建議使用特定的冷卻液以獲得性能。在幾次加熱試驗后，等待幾分鐘冷卻屬于正?，F(xiàn)象 | ||||
| 真空泵（可選） | ·標(biāo)配一個2.2L/s的雙級旋葉片真空泵 ·電壓：AC 208-240V 50Hz,單相 ·功率：0.4KW 另有多種真空泵，詳情請點擊下圖選擇 | ||||
| 產(chǎn)品尺寸 | 整體機器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H） | ||||
| 凈重 | 100Kg | ||||
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ntentId=41.html"> | ||||
| 認(rèn)證 | 如果客戶需要通過MET認(rèn)證，需自行支付認(rèn)證費用，具體價格請聯(lián)系我們的銷售代表。
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)包括:1)感應(yīng)加熱器:UL61010-1 & UL499;2)真空泵:UL1450;3)冷水機組:UL61010 & UL1995 | ||||
| 注意事項 | ·為了保護石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環(huán)境中進行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM
·C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi)
·熔融時間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品，請聯(lián)系我們的工程師咨詢
·感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi
·必須在氣缸上安裝減壓閥，將壓力限制在3psi以下，以保證安全運行。點擊這里了解氣體調(diào)節(jié)器的安裝
·當(dāng)出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過3psi，請立即打開氣體釋放閥門，以防止不可預(yù)見的損壞 | ||||
| 應(yīng)用 | ·PVT(物理蒸氣運輸)系統(tǒng)通過改變一個合適的坩堝，使其能夠成為生長長型碳化硅晶體，請點擊下面的圖片或問我們的工程師如何
·此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們 |
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