半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備設(shè)計特點和工藝
　　半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備，采用*的配置原件，滿足了不同行業(yè)的用水需求，得到了廣大客戶的認(rèn)可，半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備水質(zhì)穩(wěn)定，應(yīng)用的范圍廣泛。
　　半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備設(shè)計特點
　　典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為三大部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必*一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，*可以將超過70%的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。

　　半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
　　自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透—預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點