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北京國科泰興科技有限公司


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傅里葉紅外氣體分析儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號MKS MultiGas 6030

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-09-26 15:08:11瀏覽次數(shù):274次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:49條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

描述:傅里葉紅外氣體分析儀廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分 析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。

詳細介紹

詳情介紹
品牌其他品牌儀器類型便攜型
價格區(qū)間面議儀器種類紅外輔助設(shè)備
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源,電子

MKS MultiGas? 6030傅里葉紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas? 6030能 分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜,故省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發(fā)現(xiàn)MultiGas? 6030操作簡便,易于維護。


MultiGas? 6030傅里葉紅外氣體分析儀由保護的2102傅利葉變換紅外制成分光計,高光通量取樣單元,專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MultiGas? 6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。

特點和優(yōu)點

? 10ppb-99%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

? 易于移動從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾分鐘

?  同時分析和顯示多達30種氣體

?  分析儀儲存了校準光譜,省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定 溫度

應(yīng)用

? 煙囪監(jiān)測器

? 工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

? 空氣環(huán)境分析

? 保護的線性檢測器,確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

? 頻率和分辨率診斷,確保校準恒定

? 提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

? 用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓(xùn)即可操作

? 氣體純度分析

? 燃燒排放監(jiān)測

? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

光譜分析

Multigas的分析器有個具有定量和多功能 的分析軟件,它能同時分析和報道許多混合 物的濃度,這個能在個人電腦上運行的軟件,能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的 變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一 秒內(nèi)完成,進行瞬時分析。

整個數(shù)據(jù)整理過程中,MultiGas 軟件一 邊計算SETUP里面選擇氣體的濃度,一邊不 斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式,測得的光譜和殘余光 譜。這個殘余光譜能被用來確定分析的誤差,使得QA/QC變得簡單和真實。當解決了所有 被提及的光譜后,殘留光譜就描繪“剩余的” 光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存,這 些光譜可以在任何時候利用同樣或不同的零 點設(shè)定進行再工藝。

對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計, 2102傅利葉變換紅外分光計是緊湊和粗糙 的,能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作,是 可用的處理FTIR方式中速,靈敏和穩(wěn)定的!另外,它能在在惡劣環(huán)境下操作, 具有對高溫,振動和溫度變化的免

疫。更可貴的是,高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是 標準的,為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個分光計連接到一個小體積(200mL) 多變換,有5.11米有效通道的取得的 氣室,這個氣室的設(shè)計結(jié)合了非球面的, 非端正的鏡子,它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提 供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇,一個單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強吸收 率的氣體,任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

儀器的自主校準

MultiGas 的軟件有多點校準圖,能提供 一個動態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級.許多核數(shù) 的校準都由其提供,另外,用戶也可以通過 已知的濃度來進行校準。MultiGas 軟件檢驗每個工具的性能的效用,使它能把一個已經(jīng)在一臺機器上校準的的值用于其他任何一臺 機器上,而且不用變更。

規(guī)格

分析儀主機

測試技術(shù) 傅利葉變換紅外光譜 可測試氣體或水蒸氣 絕大多數(shù)分子除了氮氣,氧氣和氫氣 范圍 濃度從10ppb到99%

傅利葉變換紅外 2102制成傅利葉變換紅外

光譜分辨率 0.5 - 128cm-1

掃描速度 每秒1次在0.5cm-1

掃描時間 1 – 300秒

紅外源 碳化硅在1200℃

參考激光 氦氖(15798.2cm-1)

檢測器 液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物)

清潔(Purge)壓力 20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流量 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的

干燥空氣

光學(xué)系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的

干燥空氣

壓力傳感器 MKS Baratron? 電容式薄膜壓力傳感器

Purge連接 Swagelok? 快速接頭

電腦要求 臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰?處理器,微軟Wingdows?

XP操作系統(tǒng),1024 X 768顯示

通訊口 RJ-45的交叉以太網(wǎng)

輸出選件 XML,模擬,AK,其他

尺寸 445mm寬 X 318mm高 X 648mm深

安裝 可安裝于19英寸標準機柜

電源 110V或220V,50/60hz,3A

重量 50公斤

分析儀采樣參數(shù)

采樣溫度 室溫至200℃(取決于校準溫度)

采樣速流 0.2 – 10升/分

采樣壓力 0.01 – 4大氣壓(取決于校準壓力)

分析儀氣體室

結(jié)構(gòu) 鍍鎳鋁,或316不銹鋼焊接選件

接頭 Swagelok?或VCR?

采樣壓力 1個大氣壓(取決于校準壓力)

管道 加熱不銹鋼

鏡 鋁襯底鎳板,鍍金

窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

“O”型密封圈 Viton?,(其他可選)

檢測極限

5.11米氣室,MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下,下列典型氣體低檢測數(shù)據(jù)為:

名稱

分子式

20/20?氣室,5分鐘檢測 時間下的檢測值

20/20?氣室,1秒鐘檢測時 間下的檢測值

氨氣

NH3

30ppb

0.5ppm

二氧化碳

CO2

12ppb

0.2ppm

一氧化碳

CO

72ppb

1.2ppm

甲醛

H2CO

36ppb

0.6ppm

HCl

87ppb

1.5ppm

甲烷

CH4

36ppb

0.6ppm

二氧化氮

NO2

24ppb

0.4ppm

氧化氮

NO

210ppb

3.6ppm

氧化二氮

N2O

30ppb

0.5ppm

四氟化硅

SiF4

10ppb

0.15ppm

二氧化硫

SO2

36ppb

0.6ppm

四氟化碳

CF4

2.5ppb

40ppb

二甲苯磺

C8H10

60ppb

1.0ppm


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