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上海進與科學儀器有限公司

鍍膜儀的一些基本技術(shù)要求要了解

時間:2022-1-14閱讀:52
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  鍍膜儀是目前鍍膜行業(yè)應用廣泛的真空設備,隨著行業(yè)的發(fā)展,各種類型的鍍膜儀也在逐漸出現(xiàn)。但大部分人并不了解鍍膜儀的工作原理。鍍膜儀主要是由真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成。真空設備也分好多類型和型號,種類、用途不一樣,其型號也就不一樣,但它們的工作原理是相通和類似的。
  鍍膜儀的基本技術(shù)要求說明:
  1.設備中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應符合GB/T的規(guī)定。
  2.在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應安裝真空測量規(guī)管,分別測量各部位的真空度。當發(fā)現(xiàn)電場對測量造成干擾時,應在測量口處安裝電場屏蔽裝置。
  3.如果設備使用的主泵為擴散泵時,應在泵的進氣口一側(cè)裝設有油蒸捕集阱。
  4.設備的鍍膜室應設有觀察窗,應設有擋板裝置。觀察窗應能觀察到沉積源的工作情況以及其他關(guān)鍵部位。
  5.離子鍍沉積源的設計應盡可能提高鍍膜過程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。
  6.合理布置加熱裝置,一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應使被鍍工件溫升均勻一致。
  5.工件架應與真空室體絕緣,工件架的設計應使工件膜層均勻。
  8.離子鍍膜儀一般應具有工件負偏壓和離子轟擊電源,離子轟擊電源應具有抑制非正常放電裝置,維持工作穩(wěn)定。
  9.主要環(huán)境條件:
 ?、侪h(huán)境溫度:10-30℃;
  ②相對濕度:≤75%;
  ③冷卻水進水溫度:≤25℃;
  ④供電電源:380V三相50Hz或220V單相50Hz(由所用電器需要而定);
  ⑤設備周圍環(huán)境整潔,空氣清潔,不應有引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。

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