徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102性能 | ||
• 優(yōu)異性價比:一臺設(shè)備即可為TEM、SEM、LM電鏡檢測提供理想試樣, 多種應(yīng)用功能集于一體,高效并節(jié)約成本 • 安全:所有機械控制、樣品移動實現(xiàn)全自動化,可獲得重復(fù)性制樣結(jié)果 • 分段冷卻:對溫度敏感樣品得到充分保護,在優(yōu)化條件下進(jìn)行離子研磨, 保持樣品的原生態(tài) • 操作簡便:內(nèi)置應(yīng)用參數(shù)庫,幫助文件,無論是初學(xué)者還是后期維護都 十分簡單 | ||
徠卡多功能離子減薄儀-Leica EM RES102技術(shù)參數(shù) | ||
具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對位置,可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120° 至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm。實際操作參數(shù) 根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲) | ||
可選配樣品臺:TEM樣品臺(Φ3.0mm或Φ2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品 臺(對樣品35°或90°斜坡切割)等 | ||
SEM樣品臺可容納大樣品尺寸達(dá):直徑25mm,高度12mm | ||
全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,保證樣品交換時間<1分鐘 | ||
全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實時觀察樣品處理過程 |