技術應用鏈接:
Tetra 4900 LF-PC | 特殊設備
開關柜：寬 3000 mm、高 1800 mm、深 1500 mm
腔室：寬 2500 mm、高 1400 mm、深 1400 mm
處理幅寬：2000mm
卷軸直徑：127mm
卷軸外徑：500mm
腔室容積：約 4900升
氣體供給：通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發(fā)生器：1 個 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系統(tǒng)：配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
未找到相應參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
環(huán)保在線