技術(shù)應(yīng)用鏈接:
特點(diǎn)：
·便捷的觸摸屏操作界面
·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式
·異常報(bào)警功能
·自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換
·儲(chǔ)存多套工藝程序
·遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出
·模塊多樣化選擇，多層托盤可選，處理量大
技術(shù)規(guī)格：
型號(hào) | Tetra 100 | ||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換） | |
BASIC PC | FULL PC | ||
操作系統(tǒng) | Windows CE | Windows 10 | |
觸摸屏 | 3.5/7” | 7/15” | |
工藝氣體 | O2 Ar N2 Air SF6 CF4等 | ||
工藝氣路 | 1-3路（可選） | 1-10路（可選） | |
流量計(jì) | MFC /防腐型MFC | ||
真空腔體 | 不銹鋼W400xD625xH400/100L 鋁合金W400xD625xH400/100L | ||
電極 | 材質(zhì) | 鋁/不銹鋼電極 | |
層數(shù)（可選） | 1-10（可選） 1-2層 1-5層 | ||
發(fā)生器
| 40kHz 0-1500W 80kHz 0-1000W 0-3000W 13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W 2.45GHz 0-1200W | ||
真空壓力計(jì)（mba) | 皮拉尼傳感器（0-9.99) | ||
托盤 | 不銹鋼/鋁 | 實(shí)板/鏤空 | |
層數(shù) | 1-10（可選） | ||
外形尺寸WDH（mm) | 600x850x1700(2100) | ||
電源 | AC400 V / 16 A | ||
真空泵抽氣速度 | 根據(jù)工藝選擇 | ||
選配件 | 單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極（刻蝕）、石英舟、干泵 | ||
關(guān)鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
Tetra100
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