Tetra 30 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。

在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 30 等離子系統(tǒng)一同使用的見的選裝件。

Tetra 30 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

• 分析 (REM, TEM)

• 考古

• 汽車行業(yè)

• 生物技術(shù)

• 彈性體技術(shù)

• 電子技術(shù)

• 電子顯微鏡

• 精密工程

• 研究和開發(fā)

• 半導(dǎo)體技術(shù)

• 小批量生產(chǎn)

• 塑料技術(shù)

• 醫(yī)療技術(shù)

• 微系統(tǒng)技術(shù)

• 太陽能電池技術(shù)

• 紡織技術(shù)

基本設(shè)備

• 根據(jù)具體組件/選裝件，外殼規(guī)格會(huì)有所不同

• 腔室容積：根據(jù)具體版本，分為 34 - 57 升

• 供電電源： 230 V 或者 400 V / 3 相位

氣源

• 質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
  （約寬 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）

裝載件

• 產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

電極

• 單層或多層

• 具有氣體噴淋的 RIE 電極

控制系統(tǒng)

• PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

• PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

壓力測量

• Pirani

• Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計(jì)時(shí)器

• 數(shù)字型

發(fā)生器

所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無級(jí)可調(diào)型

真空泵

• 規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。