蔡司場發(fā)射電鏡主動減震臺
K&S ARIS MD300主動減震臺
專為精密儀器設計的主動震動隔離系統(tǒng)，設計輕巧而緊湊，易與安裝的流線型設計，更方便定位的獨立支撐模塊，安裝過程無需復雜的調校。有工程師，物理學家及精密儀器領域內的專家顧問共同研發(fā)顯著的降低了環(huán)境震動帶來的干擾，使它成為精密儀器的配置。
掃描電子顯微鏡主動減震臺：
TESACAN掃描電子顯微鏡鏡 ZEISS蔡司掃描電子顯微鏡 Thermo Fisher（FEI）掃描電子顯微鏡 HITACHI日立掃描電子顯微鏡 JEOL日本電子掃描電子顯微鏡 PHENOM飛納掃描電子顯微鏡
應用方向：
用于降低或屏蔽地面附件的震動源給儀器的影響，由4-6個獨立主動減震模塊組成，進而屏蔽或減少地面震動對掃描電鏡性能的影響。提供給掃描電子顯微鏡的工作狀態(tài)及分辨率。
技術指標：
隔振性能:8dB gain on 1Hz（60-70%）；20dB gain on 2Hz（≥90%）
隔振自由度：6個自由度
響應時間：≤0.01Sec
隔振性能：0.5~100Hz
模塊尺寸：230×270×75mm
承載重量：300-1200Kg
環(huán)保在線