K&S ARIS TT系列專為精密儀器設(shè)計的桌面主動減震臺,易與安裝的流線型設(shè)計,更方便定位的獨立支撐模塊,安裝過程無需復(fù)雜的調(diào)校。有工程師,物理學家及精密儀器領(lǐng)域內(nèi)的專家顧問共同研發(fā)顯著的降低了環(huán)境震動帶來的干擾,使它成為精密儀器的配置。
特殊內(nèi)置振動篩模式,確保精密儀器在不同場合的性能,可調(diào)整不同頻率和振幅,模擬真實環(huán)境條件。驗證精密機器內(nèi)部部件對振動的響應(yīng),采用壓電陶瓷傳感器,精密控制對精密儀器內(nèi)部共振的影響自適應(yīng)對振動調(diào)整,提供給掃描電子顯微鏡更佳的工作狀態(tài)及分辨率。
臺式掃描電鏡主動減震臺技術(shù)指標:
隔振性能: 8dB gain on 1Hz(60-70%)
20dB gain on 2Hz(≥90%)
隔振自由度: 6個自由度
響應(yīng)時間: ≤0.01Sec
隔振性能: 0.5-100Hz
模塊尺寸: 230×270×75mm
承載重量: 15-200kg
臺式掃描電鏡主動減震臺平面結(jié)構(gòu)設(shè)計,根據(jù)設(shè)備尺寸及負載選擇合適型號,減震端子獨立工作,更加靈活,穩(wěn)定性更高,當 R M S小于4 5μm時,2 H z以上減震效果大1 0倍;減震器行程更長,壓電陶瓷在1 0 H z時<2 0 0μm ( P - P ) .安裝無需起重設(shè)備,直接放置于設(shè)備下方,減震臺的高度尺寸8 0 m m。
SEM/AFM顯微鏡主動隔振解決方案