| 產(chǎn)品型號(hào)： | PDC-32G微型臺(tái)式等離子清潔儀（帶真空泵）EQ-PDC-32G微型臺(tái)式等離子清潔儀 |
| 產(chǎn)品簡介： | EQ-PDC-32G是微型臺(tái)式等離子清潔儀，這款離子清潔儀可利用空氣、氧氣或氬等離子來**玻璃、半導(dǎo)體、高分子材料、金屬基座的表面納米有機(jī)污染物，在高射頻（RF）功率的情況下的*大有機(jī)物去除率約為10nm/min 。對(duì)材料進(jìn)行涂覆鍍膜前,使用本等離子清潔儀對(duì)單晶基片進(jìn)行清潔能獲取更好的效果。 |
| 主要特點(diǎn)： | 外型美觀精巧 可調(diào)節(jié)射頻功率(高、中、低) 操作安全,成本低廉,對(duì)人類和環(huán)境無害 |
| 技術(shù)參數(shù)： | 輸入電源：115V AC ,50/60 Hz；或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W 輸出頻率：13.56 MHz 等離子發(fā)射頻率：三種可調(diào)輸出電壓: 低 680V DC 10mA DC 6.8W 中 700V DC 15mA DC 10.5W 高 720V DC 25mA DC 18 W 等離子艙體：76mm(直徑)x 165mm(長) 硼硅酸玻璃艙體可拆卸式前蓋 真空泵與控制閥門：雙極旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 帶過濾器和KF-D25閘口----配有KFD25接頭, 600mm長不銹鋼管與高質(zhì)量的過濾器 *大終端壓力為30 mTorr或更小 1/8" NPT 針型閥門有效控制氣體的流動(dòng)和艙體內(nèi)的壓力 1/8" NPT 三通閥門以便放散氣體, 艙體隔離及泄氣狀態(tài)的轉(zhuǎn)換 惰性氣體：根據(jù)所需清洗的污染物可選擇采用N2, Ar, Air 和混合氣體 注意不能使用可燃性氣體 保修期：一年 (不含硼硅酸玻璃艙體) |
| 產(chǎn)品規(guī)格： | 規(guī)格：216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D) 凈重：6.5 kg （不帶真空泵）14.0 kg（帶真空泵） |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件： | |
| 可選配件： | 若使用2"晶體石英舟,這種清潔儀能一次處理25個(gè)直徑2"的晶體； 數(shù)碼真空計(jì)量器，用于**調(diào)控艙體壓力 |
暫無信息 |
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