產品特點
1、本產品采用氣相法制備石墨烯材料方式,采用微波熱等離子體技術,適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產。
2、本產品等離子生長腔體采用潔凈石英管結構,避免生產過程中的雜質污染,確保產品品質。
3、本產品設計連續(xù)氣相生長功能,采用頂部4路進氣混氣,底部排料的結構。
4、本產品采用真空和微正壓系統(tǒng)設計,反應室與外界密封設計,適合微波等離子體狀態(tài)。
5、本產品設置真空管路和防爆泄壓結構,支持真空、氣氛和微正壓環(huán)境。
6、本產品采用微波等離子體技術,功率智能調節(jié),工藝性更穩(wěn)定。
7、本產品采用PLC程序控制,觸摸屏操作,工藝路線可實現(xiàn)自動化控制,工藝數(shù)據可讀取。