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小型4通道管式爐-- GSL-1700X-MGI-4

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爐體結(jié)構(gòu)

爐體由4個小管式爐組成，采用氧化鋁爐管，尺寸為25 OD×22 ID×460 L mm。

每個加熱模塊都有獨立的溫控系統(tǒng)控制，溫度可達1700℃。

快速密封法蘭，安裝有機械真空壓力表，進氣端安裝有浮子流量計，樣品可在真空或氣氛保護環(huán)境下進行熱處理。

可同時放入4個樣品，在不同溫度下進行熱處理。

加熱元件

硅鉬棒

工作溫度&恒溫區(qū)

連續(xù)工作溫度1600℃

工作溫度1700℃（<1hrs）

恒溫區(qū)：30mm(±1℃)，60mm（±5℃）

爐管

高純氧化鋁爐管：φ25×L 460mm，4根。

4個浮子流量計。

快速連接法蘭，KF25真空接口。

真空度：1^0-5torr（采用分子泵）

有一真空泵接口（KF25），可在本公司購買各種真空泵。

溫度控制

采用觸摸屏設(shè)置溫度程序，帶有超溫和斷偶保護。

4個溫區(qū)分別由4個獨立的溫控系統(tǒng)控制。

4根B型熱電偶。

可用電腦設(shè)置和顯示溫度沖洗。

加熱速率

10℃/min

控溫精度

±1℃

淬火（可選）

此管式爐可升級為立式淬火爐（加上旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和淬火劑罐）

功率&工作電壓

6KW，208-240V單相，50/60Hz

質(zhì)量認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

產(chǎn)品尺寸

1000 L×650W×640H mm

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件）

警告&應(yīng)用注意

此管式爐，只可在真空或常壓狀態(tài)使用，爐管內(nèi)的相對氣壓不可大于0.02MPa。

進氣流量<200 SCCM（200ml/min）。

向爐管內(nèi)通氣的氣瓶上必須安裝雙極減壓閥（可在本公司購買）。

可選購本公司的供氣系統(tǒng)，可用于進行CVD實驗。