產(chǎn)品名稱

帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA

管式爐系統(tǒng)

雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品。

容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理。

超聲霧化模塊可利用低振動(dòng)能量將液體霧化，之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中。

立式管式爐 容積喂料器 超聲霧化模塊

工作功率

總功率6KW 每個(gè)溫區(qū)：3KW

工作電源

AC 208-240單相，50/60Hz

工作溫度

1200℃（<1hr）每個(gè)溫區(qū)

連續(xù)工作溫度

1100℃每個(gè)溫區(qū)

加熱速率

≤20℃/min

控溫精度

±1℃

爐管尺寸和材質(zhì)

包含一長度為1000mm的石英管。

OD：100mm，ID：95mm。

氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射。

爐管升級：如客戶另付費(fèi)用，可用莫來石管（60mm-100mm）代替石英管，管式爐的使用溫度可升至1250℃

加熱區(qū)長度

200mm（溫區(qū)1）

200mm（溫區(qū)2）

總加熱長度：400mm

恒溫區(qū)長度

300mm（兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度）

溫控系統(tǒng)

采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。

具有超溫及斷偶報(bào)警功能。

通信端口：RS485。

可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集。

真空密封法蘭

爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭，真空計(jì)和閥門。

氣體出氣口與KF25D相連接。

氣體進(jìn)氣口與6.35軟管相連接。

上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于客戶懸掛樣品。

如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成KF25轉(zhuǎn)接頭（如左圖）。

如需要子啊惰性或還原性氣體條件下使用，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭（如左圖）。

真空度

10E-2 torr（用機(jī)械泵）

10E-5 torr（用分子泵）

漏氣率<5 mTorr/min

加熱元件

1300℃摻鉬鐵鉻鋁

設(shè)備尺寸

550 L×380 W×520 H mm（不含移動(dòng)架）

600 L×600 W×1200 H mm（包含移動(dòng)架）

凈重

約80kg（不含移動(dòng)架）

運(yùn)輸尺寸

48"（L）×40"（W）×72"（H）

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（相關(guān)耗材除外，如爐管加熱元件密封圈易耗件）

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證。

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA認(rèn)證。

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

應(yīng)用注意事項(xiàng)（為滿足客戶應(yīng)用要求，可另加費(fèi)用為您定制特殊法蘭）

客戶在使用前可能會校準(zhǔn)溫度來獲得準(zhǔn)確的爐內(nèi)溫度。

請點(diǎn)擊下圖來了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環(huán)境下進(jìn)行樣品的淬火。

方法1：采用傳統(tǒng)的剪斷懸掛線的方式是的樣品自由落下（如圖1、2）

方法2：采用電磁釋放的方式使得樣品自由落下（如圖3、4）

圖1 圖2 圖3 圖4

可定制一樣品基座，將本系統(tǒng)升級為—HPCVD（混合物理化學(xué)氣沉積）爐（圖5）

可對尺寸小于1英寸的樣品進(jìn)行釬焊（在樣品上方加一載重）（圖6）

3溫區(qū)立式爐也可以用于該系統(tǒng)中（圖7）

圖5 圖6 圖7

警告

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時(shí)會更加精確安全；

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；

進(jìn)入爐管的氣壓流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊；

石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃；

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。