產(chǎn)品名稱

帶超聲霧化的流化床CVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1200X-S-FBUS

基本參數(shù)

電壓：AC 220V 單相，50/60Hz；功率：1.2KW

工作溫度：1100℃；連續(xù)工作溫度：1000℃

升溫速率：≤20℃/min；加熱區(qū)：200mm（單溫區(qū)）

恒溫區(qū)：100mm（±2℃）

注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系。

流化區(qū)域

配有一個2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成亞微米級液滴引入到加熱流花區(qū)域進行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆。

氣體以及亞微米級的霧化顆粒均勻分布在整個爐腔中。

固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)。

可提供的熱傳導及顆粒表面的均勻包覆。

爐體設計為開啟式，當實驗結束后，可將爐體打開，拿出石英管，去除反應后的顆粒。

注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時，也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū)，所以實驗時要根據(jù)顆粒的大小尺寸來調(diào)節(jié)氣體流量。

超聲霧化儀

AC 220V，2.4MHz高頻超聲波霧化器，可將溶液霧化為亞微米級顆粒。

液體罐上涂有氟化物，并采用氟膠密封圈密封。

可設置超聲儀功率0-99%，每次按5%增加。

外部配備有氟化物光學傳感器（耐腐蝕）以及閥門來確保內(nèi)部液面處于合適高度，避免液體量過少。

316不銹鋼三通，帶有1/4英寸轉換接頭，用于通入載流氣體。

多孔石英板

孔徑：5~15μm

尺寸：22mm O.D×4mm厚

爐體結構

雙層殼體結構并帶有風冷系統(tǒng)。

爐體設計為開啟式，以方便放樣和取樣。

采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國進口1760度高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽面和提高加熱效率

爐管尺寸和材料

包含一異型石英管

爐管尺寸：兩端：25mm O.D,22mm I.D

中間：50mm O.D,44mm I.D

中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動性。

密封法蘭

底部法蘭：常規(guī)設計1"不銹鋼真空法蘭，配備1/4"進氣口用于懸浮氣體進入。

頂部法蘭：特殊設計的1"法蘭，可實現(xiàn)前驅動氣體或你流氣體的進氣和出氣。

可選配件

多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制。

氧分析儀：氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過程中的氧化現(xiàn)象。

溫控系統(tǒng)

可設置30段升溫，保溫和降溫程序。

采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度，并帶有過熱和斷偶保護。

控溫精度：±1℃

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金

尺寸

340mm×300mm×1000mm（W×L×H）

質量

約20kg

質保期

一年質保期，終生維護（不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材）

質量認證

所有元器件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CSA認證

使用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

免責聲明

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