GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實(shí)時(shí)查看流量數(shù)據(jù)及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用，實(shí)現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實(shí)驗(yàn)氣氛的精確控制。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 小型二通道混氣系統(tǒng)（質(zhì)子流量計(jì)）GSL-2Z-LCD-S 基本參數(shù) 工作溫度：5~45℃。 壓力：0.3MPa。 精度：±1.5% FS 重復(fù)精度：±0.2% F.S。 流量范圍： 一路：1-99 SCCM 二路：1-199 SCCM（其他流量范圍可定制） 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用。 輸入電源 AC 220V,50/60Hz 功率 100W PLC觸摸屏 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一觸摸屏上 混氣罐 內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣。 機(jī)械壓力表 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接。 量程：-.01~0.12MPa 針閥 316不銹鋼 通氣管道 內(nèi)部連接管道為1/4" 不銹鋼管。 外部通氣管為1/4"聚四氟管。 外形尺寸 360L×300D×190H mm 產(chǎn)品重量 8.4Kg 質(zhì)量認(rèn)證 CE認(rèn)證 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)。 相關(guān)產(chǎn)品 CVD&PECVD管式爐 免責(zé)聲明 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包含產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差，如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，怒不另外通知，請(qǐng)您見諒。 
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