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桌面式磁控濺射儀

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更新時(shí)間：2024-04-25 14:09:52瀏覽次數(shù)：186次

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桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD，外形小巧方便移動(dòng)，觸摸屏控制工藝記憶儲(chǔ)存，自動(dòng)電動(dòng)擋板閥保護(hù)樣品，石英腔室更加潔凈方便清潔。

詳細(xì)介紹

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對(duì)試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

*外形小巧方便移動(dòng)

*觸摸屏控制，工藝記憶儲(chǔ)存方便鍍相同樣品

*自動(dòng)化電動(dòng)擋板，能自動(dòng)打開(kāi)關(guān)閉，保證鍍樣時(shí)間和保護(hù)樣品

*石英＋不銹鋼腔體，方便觀察和清洗

桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)（已安裝測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口