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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2024-06-12 10:18:26瀏覽次數(shù)：103次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)）在保護(hù)等級IP64LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下
防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： |
防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)） |
在保護(hù)等級IP64 LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 |
手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈 |
零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條 |
Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管 |
配備動(dòng)作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 |
可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指 |
防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 312mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 200mm / 300mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 3kg以下 (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們
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