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閱讀：109發(fā)布時(shí)間：2022-11-7
為什么超純水在半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中具有很高的重要性
超純水系統(tǒng)被稱之為半導(dǎo)體行業(yè)的血脈，半導(dǎo)體行業(yè)又是一個(gè)高能耗的行業(yè)，在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求。
在芯片、集成電路等生產(chǎn)中，由于半導(dǎo)體元件集成度高，生產(chǎn)線窄，對(duì)水質(zhì)要求特別高，超純水成為了電子行業(yè)的“標(biāo)配"，超純水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良，重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低，III族元素 (B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化，V族素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化，水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%) 會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面，就會(huì)引起電路短路或特性變差?？梢?，超純水在半導(dǎo)體行業(yè)中的重要性。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國(guó)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、我國(guó)電子工業(yè)電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18 MΩ.cm、15 MΩ.cm、10 MΩ.cm、2 MΩ.cm、0.5 MΩ.cm)、我國(guó)電子工業(yè)超純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
國(guó)內(nèi)的超純水設(shè)備廠家很多，工藝也比較透明，目前的超純水設(shè)備工藝是二級(jí)反滲透+EDI裝置 出水電阻率達(dá)到15兆歐，或者雙級(jí)反滲透系統(tǒng)+EDI+拋光混床工藝，出水電阻率可達(dá)18兆歐。
超純水系統(tǒng)的主要部件之一是RO反滲透膜，RO膜的價(jià)格和壽命是超純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)中重要的考慮因素，假如反滲透膜都采取國(guó)外進(jìn)口，超純水設(shè)備價(jià)格會(huì)超出許多，雖然國(guó)外反滲透膜超濾膜起步比我們?cè)?，但?guó)內(nèi)一些優(yōu)秀的膜廠家經(jīng)過(guò)多年精進(jìn)發(fā)展，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，而且售前售后服務(wù)也比較到位，價(jià)格較進(jìn)口膜有很大的優(yōu)勢(shì)，占有率越來(lái)越高。
在超純水制造工藝中，傳統(tǒng)預(yù)處理方式是“由多介質(zhì)過(guò)濾器+活性碳過(guò)濾器"，傳統(tǒng)的預(yù)處理過(guò)程中SDI值不好控制，一般大于5，不利于后續(xù)的一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行。而超濾裝置的出水SDI值比較穩(wěn)定，通?？杀ＷCSDI＜3，能夠有效地保證一級(jí)反滲透系統(tǒng)的運(yùn)行，且對(duì)比傳統(tǒng)的預(yù)處理方式占地面積大的缺陷，為企業(yè)節(jié)省較高的基建費(fèi)用。
南通麥科自動(dòng)化在水處理行業(yè)深耕多年，結(jié)合市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的需求，為各行業(yè)設(shè)計(jì)成熟、可靠、自動(dòng)化程度高、高性能、高性價(jià)比的超純水設(shè)備，不但出水電阻率能穩(wěn)定達(dá)到生產(chǎn)需求，且優(yōu)化整套工藝，綜合一次性投資成本和后期運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用，能有效保障后期處理設(shè)備的安全，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
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