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中科院微電子KW-4T觸屏型臺式勻膠機/旋涂儀/片托吸盤配件

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產(chǎn)品型號KW-4T型

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更新時間：2024-07-30 07:42:22瀏覽次數(shù)：196次

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產(chǎn)品簡介

中科院微電子KW-4T觸屏型臺式勻膠機/旋涂儀/片托吸盤配件

詳細介紹

中科院微電子KW-4T觸屏型臺式勻膠機/旋涂儀
        > 基片尺寸φ5-φ100mm圓片、100x100mm2方片
        > 轉(zhuǎn)速：250-9000轉(zhuǎn)/分
        > 特點: 任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
        > 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：<±1%，膠的均勻性<±1%
        > 勻膠階段：6段
        > 勻膠時間：每個階段0-1800S可調(diào)
        > 電機功率：40W
        > 整機尺寸（長寬高）：210mm×280mm×248mm
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料