空氣質量流量計
質量流量計傳感器采用微機械加工技術,微小質量流量計實現(xiàn)微小流量測量,其特點是可靠性高、重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,微小質量流量計測量精度高,無需要溫度壓力補償,微小質量流量計廣泛應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
工作原理:
感熱式芯片技術是采用大規(guī)模集成電阻的工作,在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上,采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導,使動態(tài)響應時間大大提高,當傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布,如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:
式中:氣體流動方向為x,速度為v,a為擴散率。如上圖(式)所示,當氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。
產品特點:
·產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調節(jié)、控制閥門
·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升
·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化
·單個芯片的**流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高
·機電一體化優(yōu)化設計,智能化的數(shù)據處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確、可靠
·結構的優(yōu)化,流量計的壓力損失達到*小化
·采用國際*新的傳感技術,使流量計工作更穩(wěn)定、可靠
·開創(chuàng)零點自校功能,測量更準確
·多種氣體實際標定,全量程補償
·快速響應、數(shù)據自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網絡集中管理
·規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據用戶要求單獨標定
·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求
·的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠
·操作、設置界面友好、簡便,可根據需要自行設定相關參數(shù)
·運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產品升級換代的優(yōu)選
技術參數(shù):
·測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
·測量管徑:DN3,4,6,8,10,12,18
·流量范圍:20、30、50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM
·流量測量準確度:±1.5%FS
·工作溫度范圍:-25℃-55℃
·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa,3.0MPa
·供電電源:24VDC±10%
·輸出信號:4-20mA,RS485通訊
·環(huán)境溫度:-25℃-55℃
外觀尺寸:
| L | D | H | G |
DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |