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高壓質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號HLD600CD,D300C

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更新時間：2023-01-09 14:02:52瀏覽次數(shù)：412次

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  質(zhì)量流量計(jì)

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蘇州華陸儀器儀表有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：72條

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產(chǎn)品簡介

質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

詳細(xì)介紹

HLD600CD數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量計(jì)控制器（HLD600CD）產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；一體顯示，也可以直接連電腦顯示；數(shù)字，模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高精度，極低零漂，軟起動功能及強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。

技術(shù)參數(shù)：

1、兩種輸入方式：
1、1模擬輸入：外部 0~5VDC或4~20mA；
可選內(nèi)部物理量（0~5VDC或4~20mA狀態(tài)下的%滿量程）輸入
1、2數(shù)字輸入：PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1模擬輸出：0~5VDC或4~20mA；
2、2數(shù)字輸出：通過RS232或者RS485輸出到PC機(jī)

主要指標(biāo):
流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；（0~1、2、3、5、10、20、30 ）SLM
準(zhǔn)確度： ±1%F.S.
線性： ±0.5%F.S.
重復(fù)精度： ±0.2%F.S.
響應(yīng)時間： ≤1Sec
工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa
*大耐壓： 10Mpa
工作環(huán)境溫度： 5~65℃
電氣連接： 8 針（小型圓插頭）
輸入/輸出信號 Digital：RS232/RS485 ； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源： 6~16VDC ；1A
標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″

HLD300C數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

HLD300C 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；數(shù)字,模擬輸入輸出；可以直接連電腦顯示，也可以連二次儀表顯示；具有多氣體多量程，高精度，極低零漂，軟起動功能及強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。

技術(shù)參數(shù)：

1、兩種輸入方式：
1、1 模擬輸入：外部 0~5VDC或4~20 mA ；
1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）
2、兩種輸出方式：
2、1 模擬輸出： 0~5VDC或4~20 mA ；
2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)