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上海標(biāo)卓科學(xué)儀器有限公司
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更新時(shí)間:2023-04-20 18:25:24瀏覽次數(shù):93次
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BZ-RTS9雙電測(cè)四探針測(cè)試儀 測(cè)量范圍 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展)
BZ-RTS9 雙電測(cè)四探針測(cè)試儀
測(cè)量范圍 | 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 電阻:10-5~105 Ω; |
可測(cè)晶片厚度 | ≤3mm |
可測(cè)晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)); 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)); 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)); |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:~; 分辨力:10μV; 輸入阻抗 gt;1000MΩ; 精度:±% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示; |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | Ω、Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤%±1字 |
整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片:-180Ω.cm測(cè)試)≤±4% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) | 采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)RTS-9雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),兩套軟件可同時(shí)使用。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)值 小值、平均值、百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口,高速并行采集數(shù)據(jù)。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%; 無(wú)高頻干擾; 無(wú)強(qiáng)光直射; |
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