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捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡

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捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標配了照明系統(tǒng)球差校正器,是一款原子分辨分析型透射電鏡,擁有的STEM-HAADF像分辨率(78pm)。標配照明系統(tǒng)球差校正器,且限度地提升了裝置的機械穩(wěn)定性和電氣穩(wěn)定性,實現(xiàn)了的STEM-HAADF...

詳細介紹

捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標配了照明系統(tǒng)球差校正器,是一款原子分辨分析型透射電鏡,擁有的STEM-HAADF像分辨率(78pm)。標配照明系統(tǒng)球差校正器,且限度地提升了裝置的機械穩(wěn)定性和電氣穩(wěn)定性,實現(xiàn)了的STEM-HAADF像分辨率 (78pm*1、82pm*2)。
捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標配照明系統(tǒng)球差校正器,且限度地提升了裝置的機械穩(wěn)定性和電氣穩(wěn)定性,實現(xiàn)了的STEM-HAADF像分辨率 (78pm*1、82pm*2)。 此外經(jīng)過球差校正的電子束與一般的場發(fā)射透射電鏡相比,電流密度可以高出十倍。使用束斑更小、電流密度更大的電子束,能在進行原子水平的元素分析同時,大幅度地縮短測試時間,極大地提高分析效率。
*1 配備冷場發(fā)射電子槍  *2 配備肖特基場發(fā)射電子槍
捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡標配了掃描透射環(huán)形明場(STEM-ABF)成像模式,通過STEM-ABF像能直接觀察晶體樣品中輕元素的原子陣列,還可以同時獲取STEM-HAADF像,在樣品結(jié)構(gòu)的分析中能夠發(fā)揮巨大威力
捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡配備日本電子制造的100mm²的大面積硅漂移檢測器(Silicon Drift Detector:SDD)*3,可以進行快速、高靈敏的EDS元素分析,與經(jīng)過球差校正的電子束流組合,能進行原子級的元素面分布,在原子水平的分辨率下進行成份分析。
捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡的冷場發(fā)射電子槍(Cold-FEG)*4配備新開發(fā)的真空系統(tǒng),與傳統(tǒng)的冷場發(fā)射電子槍不同,F(xiàn)lashing操作后可以馬上使用。由于光源小可以獲得更高分辨率的圖像。此外冷場發(fā)射電子槍的能量發(fā)散度小,不僅能進行高分辨率的EELS分析,還能降低色差。
捷歐路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡使用成像系統(tǒng)的球差校正器*5,透射電子像(TEM)的分辨率可以高達110pm。
分辨率
掃描透射暗場像 82pm(加速電壓200kV、肖特基場發(fā)射電子槍)
78pm(加速電壓200kV、冷場發(fā)射電子槍)
透射像(點分辨率) 190pm(加速電壓200kV)
110pm(加速電壓200kV、安裝TEM球差校正器)
倍率
掃描透射像 X200~X150,000,000
透射像 X50~X2,000,000
電子槍
電子槍 肖特基場發(fā)射電子槍 冷場發(fā)射電子槍(選配件)
加速電壓 200~80kV(標準200kV、80kV)
樣品系統(tǒng)
樣品臺 全對中側(cè)插式測角樣品臺
樣品尺寸 3mmΦ
傾斜角 X軸: ±25° Y軸: ±25°(使用雙傾樣品桿)
移動范圍 X,Y: ±1mm Z: ±0.1mm(馬達驅(qū)動/壓電驅(qū)動)
球差校正器
照明系統(tǒng)球差校正器 標配
成像系統(tǒng)球差校正器 選配件
選配件
主要選配件 能譜儀(EDS) 電子能量損失譜儀(EELS)
CCD數(shù)碼相機系統(tǒng)
TEM/STEM斷層掃描系統(tǒng)
雙棱鏡

 


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