Zeta-20 臺式光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)和 Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進(jìn)行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-20 的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot™ 測量模式可同時(shí)采集高分辨率 3D 數(shù)據(jù)和 True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。其他 3D 測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski 干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot 或集成寬帶反射儀都可以對薄膜厚度進(jìn)行測量。Zeta-20 也是一種顯微鏡，可用于樣品復(fù)檢或自動(dòng)缺陷檢測。 Zeta-20 通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀顯微鏡

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Zeta20 多模式三維光學(xué)輪廓儀

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