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KOSAKA探針式輪廓儀ET4000

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更新時(shí)間：2023-05-15 21:18:53瀏覽次數(shù)：236次

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日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性。

詳細(xì)介紹

日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測(cè)量FPD、晶片、磁盤(pán)，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測(cè)量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲?，?uuml;∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ?、黚r />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點(diǎn)
1. 具有良的臺(tái)階高度重復(fù)性5Å (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2. 高分辨率，縱軸分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度；
3. 高直線度： 0.005μm/5mm，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等；
4. 低測(cè)定力：采用直動(dòng)力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測(cè)定軟質(zhì)材料；

5. 即時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)：配置標(biāo)準(zhǔn)CCD，可即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置；還可選購(gòu)Top View CCD，進(jìn)行高精度定位量測(cè)；

6. 可擴(kuò)充成三次元設(shè)備和追加三次元解析軟件，觀察樣品全貌和測(cè)定臺(tái)階移動(dòng)量；

7. 采用天然金剛石(R2μm)作為探頭，經(jīng)久耐用；

日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)		ET4000M	ET4000A	ET4000L
樣品尺寸		300x300mm	210x210mm	300x400mm
樣品臺(tái)	尺寸	320x320mm	220x220mm	540x400mm
	X軸傾斜度	±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜）
	Y軸傾斜度	——	±1mm/150mm(機(jī)動(dòng)傾斜）
	承重	2Kg
檢出器	力	0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié)
	范圍	100μm
	驅(qū)動(dòng)	LVDT直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）
	觸針	ET-1479(R2μm)	ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm)
X軸	測(cè)長(zhǎng)	100mm
	直線度	0.005μm/5mm(0.1μm/100mm)
	速度	0.005-2mm/s(定位速度10mm/s）
	重復(fù)性	±5μm（定位）
Y軸	測(cè)長(zhǎng)	——	150mm	400mm
	直線度	——	5μm/150mm
	重復(fù)性	——	±5μm（定位）
Z軸	測(cè)長(zhǎng)	52mm
放大倍數(shù)	垂直	50-2000000
	水平	1-10000
3D		——	可選擇
θ軸		——	可選擇
輔助功能		教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等
監(jiān)控系統(tǒng)	攝像裝置	1/2 inch CCD (768x494像素）
	監(jiān)視裝置	視頻捕捉板
應(yīng)用		成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復(fù)性		1σ0.5nm
電源		AC100V 800VA
外觀尺寸		W660xD580xH660mm 200Kg		W930xD930xH790mm 380Kg

日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000應(yīng)用

全自動(dòng)接觸式輪廓儀ET4000系列可適用于薄膜、 FPD、晶片、磁盤(pán)和與納米材料相關(guān)物件，測(cè)量微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等，可應(yīng)用于半導(dǎo)體、微量流控、精細(xì)加工和存儲(chǔ)器等行業(yè)。

關(guān)鍵詞：輪廓儀監(jiān)控系統(tǒng) 變壓器