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378系列-半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡

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產(chǎn)品型號(hào)FS-70

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更新時(shí)間：2023-07-02 16:40:33瀏覽次數(shù)：214次

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  光學(xué)顯微鏡(OM)

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上海百賀儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的光學(xué)系統(tǒng)是為的FS60型（后升為FS70型）而開發(fā)的。378系列-半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡它作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。

詳細(xì)介紹

378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的特點(diǎn)
1.此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的FS60型（后升為FS70型）而開發(fā)的。它作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
2.FS70L支持3種YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，F(xiàn)S70L4支持2種波長(zhǎng)（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對(duì)顯微鏡的激光穖的性能和安全性，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。
3.FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場(chǎng)，微分干涉對(duì)比（DIC）和偏振觀測(cè)。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。
5.極易操作的設(shè)計(jì)：FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場(chǎng)中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。

378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的性能參數(shù)

型號(hào)

FS-70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70L-TH

FS70L4

JS70L4-TH

貨號(hào)

378-184-1

378-184-3

378-185-1

378-185-3

378-186-1

378-186-3

378-187-1

378-187-3

短基座型號(hào)

FS70-S

FS70-THS

FS70Z-S

FS70Z-THS

FS70L-S

FS70L-THS

FS70L4-S

FS70L4-THS

貨號(hào)

378-184-2

378-184-4

378-185-2

378-185-4

378-186-2

378-186-4

378-187-2

378-187-4

對(duì)焦

50mm行程，同心焦距粗調(diào)（3.8mm/rev)和微調(diào)（0.1mm/rev)手輪（左、右0）

圖像

正像

瞳距

Siedentopf型、調(diào)節(jié)范圍

視場(chǎng)數(shù)

俯角

0°至20°

透過率

50/50

100/0或0/100

50/50

100/0或0/100

管鏡頭

內(nèi)置激光射線濾光片

適用激光

1×

2×zoom

1×

適用激光

1064/532/355mm

532/355mm

相機(jī)端口

C-mount(使用適配器B選件）

使用帶有電視端口的激光片

C-mount插座（帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān)）

照明系統(tǒng)、可選

亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶光圈） 12V 100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長(zhǎng)度：1.5m、功耗150W

物鏡、可選

M Plan Apo,M Plan Apo SL, G Plan Apo

物鏡、可選

M/LCD Plan NIR

M/L CD Plan NUV

M Plan UV

載重

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

重量（主機(jī)）

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

6.1kg

7.1kg

6.6kg

7.5kg

378系列--半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡FS-70的技術(shù)參數(shù)
對(duì)焦
方法：有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）
范圍：50mm測(cè)量范圍，微調(diào)0.1mm/rev同心粗調(diào)3.8mm/rev
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調(diào)節(jié)范圍：51-76mm
視場(chǎng)數(shù)：24
俯角：0°-20°(僅用于-TH，THS型號(hào)）
照明系統(tǒng)：亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶光圈）
光源：12V100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié) ），光導(dǎo)長(zhǎng)度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo