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原子力顯微鏡光學(xué)一體機 FM-Nanoview Op-AFM

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更新時間:2023-03-06 14:45:11瀏覽次數(shù):257次

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產(chǎn)品簡介

原子力顯微鏡光學(xué)一體機 FM-Nanoview Op-AFM

詳細介紹

光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計,功能強大

同時具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時工作,互不影響

同時具備光學(xué)二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能

激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強
精密探針定位裝置,激光光斑對準調(diào)節(jié)非常簡便
單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描
馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品

超高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%

技術(shù)參數(shù)

工作模式 接觸模式、輕敲模式 光學(xué)目鏡 10X
選配模式 摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力 照明方式 LED柯勒照明系統(tǒng)
力譜曲線 F-Z力曲線、RMS-Z曲線 光學(xué)調(diào)焦 粗微動手動調(diào)焦
XY掃描范圍 50×50um,可選20×20um,100×100um 攝像頭 500萬像素CMOS傳感器
Z掃描范圍 5um,可選2.5um,10um 顯示屏 10.1寸平板顯示器,帶圖像測量功能
掃描分辨率 橫向0.2nm,縱向0.05nm 掃描速率 0.6Hz~30Hz
樣品尺寸 Φ≤68mm,H≤20mm 掃描角度 0~360°
樣品臺行程 25×25mm 運行環(huán)境 Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
光學(xué)物鏡 5X/10X/20X/50X平場復(fù)消色差物鏡 通信接口 USB2.0/3.0

應(yīng)用案例

GaN襯底掃描范圍3µm×3µm.png 掃描范圍30µm×30µm.png

GaN襯底/掃描范圍3µm×3µm 單晶硅金字塔/掃描范圍30µm×30µm

MoTe.png 掃描范圍16µm×16µm.png

微米光柵/掃描范圍30µm×30µm MoTe/掃描范圍16µm×16µm

包裝清單

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