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Automegasamdri-915B, Series B 臨界點(diǎn)干燥儀

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更新時(shí)間:2022-10-29 15:41:53瀏覽次數(shù):244次

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Automegasamdri-915B, Series B 臨界點(diǎn)干燥儀

詳細(xì)介紹

Automegasamdri-915B, Series B 臨界點(diǎn)干燥儀


特點(diǎn):

  • 6"圓晶MEMS釋放后的超臨界點(diǎn)干燥儀;

  • 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì);

  • 通過(guò)微處理控制器來(lái)保證自動(dòng)處理過(guò)程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性;

  • 所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;

  • 可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性;

  • 每個(gè)操作模式LED顯示,一目了然;

  • 集成自動(dòng)控溫;

  • 內(nèi)置圓盤(pán)裂片保證安全;

  • 可以一次干燥5片直徑為6"的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑4"、3"、2"的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);

  • 靜態(tài)壓力控制模塊,自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;

  • 0.4μm內(nèi)部過(guò)濾器系統(tǒng)輸送清潔的過(guò)濾后的LCO2到樣品室;

  • 內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài);

  • 擁有高效隔熱的冷卻系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速?gòu)氖覝亟档綄⒔?°C;

  • 標(biāo)配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。

  • 樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到4"、3",2",1.25",使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到;

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn);



規(guī)格:

  • 外部尺寸:寬14.25" (36.2 cm) × 高11.75" (29.8 cm) × 長(zhǎng)25.0" (63.5cm);

  • 占地尺寸:寬42" (107 cm) × 深30" (76 cm);

  • 樣品室尺寸:內(nèi)徑6.50" × 深1.25",樣品室容積:679 ml;

  • 溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;

  • LCO2的流速是通過(guò)帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門(mén)來(lái)控制;

  • 120V/50-60HZ(可選其他電壓);



標(biāo)準(zhǔn)配件:

  • 高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長(zhǎng);

  • 外部LCO2過(guò)濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過(guò)濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;

  • SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;

  • 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣;

  • 內(nèi)部的不銹鋼過(guò)濾系統(tǒng)和鍍鎳的過(guò)濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門(mén)

  • 樣品室O型圈3個(gè),樣品室照明燈2個(gè),5A保險(xiǎn)絲2個(gè);

  • 4個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6"、4、3、2和1.25英寸;

  • 直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;

  • 流量計(jì),可精確控制BLEED的排氣速率;

  • 用戶手冊(cè);

  • 所有部件一年質(zhì)保。


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