	LTHS2
運(yùn)動(dòng)范圍XY（µm）	75
分辨率XY（nm）	0,075
典型的噪聲基準(zhǔn) XY（nm）	0,0075
的重復(fù)性XY（nm）	0,15
線性化（典型的）	0,02%
諧振頻率X / Y（Hz）	1500/1000
剛度 (N/µm)	2/2
負(fù)載（kg）-水平使用	0,5
負(fù)載（kg）-垂直使用	0,3
傳感器	Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)	152,5 x 190 x 18,5
材料	Al
電纜長(zhǎng)度（m）	2
推薦控制器	Standard or High Speed

關(guān)鍵詞：傳感器

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LTHS2 2軸納米位移平臺(tái)

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