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沈陽(yáng)多功能蒸餾器CYZL-6C氨氮蒸餾裝置在半導(dǎo)體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過(guò)程占整個(gè)工藝過(guò)程的約20%-30%
沈陽(yáng)多功能蒸餾器CYZL-6C氨氮蒸餾裝置在半導(dǎo)體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過(guò)程占整個(gè)工藝過(guò)程的約20%-30%。目前，洗滌溶液的更換頻率通?；谑褂脮r(shí)間來(lái)確定的。然而，近年來(lái)，降低制造成本和減少環(huán)境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此，有必要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)污染程度。為了滿足這些需求，島津一直在研究LIBS技術(shù)，因?yàn)長(zhǎng)IBS技術(shù)的研發(fā)可以利用島津自身廣泛的激光光學(xué)和光譜技術(shù)優(yōu)勢(shì)蒸餾法測(cè)氨氮?的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時(shí)測(cè)量多個(gè)元素的技術(shù)。當(dāng)樣品被激光照射時(shí)，它通過(guò)樣品表面的熱蒸發(fā)產(chǎn)生等離子體。該等離子體發(fā)出特征光是樣品所的。因此，可以通過(guò)檢測(cè)所得光譜來(lái)測(cè)量元素。通過(guò)激光照射在特殊板上蒸發(fā)至干燥的樣品產(chǎn)生等離子體，然后檢測(cè)從等離子體發(fā)射的光以識(shí)別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測(cè)限為ppm級(jí)別。該技術(shù)基于LIBS測(cè)量原理，提供世界上高的靈敏度水平(根據(jù)島津截至2018年7月的調(diào)查)。目前的原型機(jī)尺寸為1 m×1 m蒸餾法測(cè)氨氮的?具體操作方法，可與半導(dǎo)體晶圓清洗系統(tǒng)連接。從取樣到測(cè)量洗滌溶液的整個(gè)過(guò)程是自動(dòng)化的，并且可以在大約一分鐘內(nèi)完成12種痕量金屬組分的同時(shí)測(cè)量，例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率，使得該技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用將提供諸如提高產(chǎn)率和降低制造成本等益處。
主要特征：
1、系統(tǒng)簡(jiǎn)潔、安裝維護(hù)方便、使用可靠，配件全套，無(wú)需購(gòu)買(mǎi)后另配配件；
2.、具有熱效率高、壽命長(zhǎng)、起溫和降溫速度快、加熱時(shí)間和加熱功率可調(diào)等優(yōu)點(diǎn)；
3、操作簡(jiǎn)單、美觀實(shí)用、節(jié)能降耗環(huán)保；
4、一次可處理6組樣品，并可單孔單控溫，進(jìn)口溫度傳感器
5、選配外接循環(huán)水冷卻裝置。
沈陽(yáng)多功能蒸餾器CYZL-6C氨氮蒸餾裝置一體化智能蒸餾儀揮發(fā)酚操作步驟
水中揮發(fā)酚的測(cè)定采用4-氨基分光光度法，實(shí)驗(yàn)原理、適用范圍、所需試劑、干擾消除及結(jié)果計(jì)算等參照國(guó)標(biāo)HJ503-2009。
一、操作步驟 1、插上電源，檢查蒸餾儀器，確保各加熱孔能正常加熱，接通循環(huán)水開(kāi)關(guān)，檢查各接口是否漏水，以保證儀器正常運(yùn)行。
2、取250ml樣品于500ml全玻璃蒸餾瓶中，并加入50ml蒸餾水，加數(shù)滴甲基橙指示劑，若試樣未呈現(xiàn)橙紅色，需補(bǔ)加磷酸溶液。
3、開(kāi)始加熱蒸餾，待餾出液接近250ml時(shí)，停止時(shí)加熱，并用蒸餾水定容至250ml。
4、打開(kāi)本公司萃取儀，檢查儀器能否正常工作，檢查完畢后，將250ml餾出液全部轉(zhuǎn)移至本公司萃取儀自帶500ml分液漏斗中。
5、在分液漏斗中加入2.0ml緩沖溶液，設(shè)置萃取強(qiáng)度為40Hz，時(shí)間90s，停留時(shí)間為0，萃取一次，以混勻溶液。
6、加入1.5ml4-氨基溶液，萃取強(qiáng)度、時(shí)間、次數(shù)不變，萃取一次，混勻溶液。
7、再加入1.5ml鐵，萃取強(qiáng)度、時(shí)間、次數(shù)不變，萃取一次，使得試劑與水樣混勻。靜置10min。
8、在上述分液漏斗中加入10ml，設(shè)置萃取強(qiáng)度為35Hz，時(shí)間60s，停留時(shí)間為30s，萃取次數(shù)為3次，設(shè)置完畢后，按啟動(dòng)鍵開(kāi)始萃取。萃取完畢后，靜置分層。
9、用干脫脂棉或?yàn)V紙拭干分液漏斗頸管內(nèi)壁，于頸管內(nèi)塞一小團(tuán)干脫脂棉或?yàn)V紙，層通過(guò)干脫脂棉團(tuán)或?yàn)V紙，棄去初濾出的數(shù)滴萃取液后，將余下直接放入光程為20mm的比色皿中。
10、于460nm波長(zhǎng)，以為參比，測(cè)定吸光度。 11、空白實(shí)驗(yàn)：蒸餾水代替試樣，按4-10步驟測(cè)定其吸光度?？瞻着c試樣同時(shí)測(cè)定。
二、注意事項(xiàng)
1、緩沖溶液為氨水配置，所以在混勻時(shí)萃取強(qiáng)度不宜過(guò)高，在適宜強(qiáng)度下要保證充分混合均勻，否則會(huì)造成空白偏大。
2、放液時(shí)要成滴，不能成線。
全自動(dòng)智能蒸餾儀使用操作步驟
1、將配套玻璃儀器安裝固定在給定的玻璃裝置支架上。
2、連接好各路軟管。再次熟練認(rèn)識(shí)一下氮吹控制管路（選用，二氧化硫才選配）；循環(huán)水的進(jìn)（一路）、出水（一路）管路；防倒吸（四路或六路防真空閥門(mén)）管路；自動(dòng)清洗管路。
3、熟悉面板上的主電源開(kāi)關(guān)、觸摸屏（開(kāi)機(jī)可視操作）、加熱控制（四路或六路單溫單控；右旋轉(zhuǎn)溫度升高，反之則低）、攪拌控制（四路或六路單控，右旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速增大，反之則低）的旋鈕。
4、熟悉右側(cè)的主電源插座（溫度控制、攪拌控制電源）、輔電源插座（制冷、循環(huán)水）；并對(duì)應(yīng)連接上電源（220V,50HZ)
5、熟悉右側(cè)的主電源開(kāi)關(guān)（溫度控制、攪拌控制電源）、輔電源開(kāi)關(guān)（制冷、循環(huán)水）、循環(huán)水控制開(kāi)關(guān)、加水開(kāi)關(guān)（開(kāi)制冷、循環(huán)水前,先用硅膠管連接加水塑料接頭，另一頭插進(jìn)準(zhǔn)備好的清潔桶裝水中；然后開(kāi)加水開(kāi)關(guān)，水會(huì)自動(dòng)加入；儀器后面左側(cè)有水位計(jì)；顯示水位高度；水位以水位計(jì)中間高度為宜）
6、打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)（面板zui左側(cè)）。
7、點(diǎn)擊“智能一體化蒸餾儀”
8、點(diǎn)擊“二氧化硫殘留量檢測(cè)儀
9、選擇上面的主界面之右下角的“配方設(shè)置”，會(huì)顯示下面的配方設(shè)置界面（請(qǐng)注意觀察：配方編號(hào)“”----會(huì)隨著“前一模式”—“后一模式”的點(diǎn)擊發(fā)生變化，依次改變?yōu)?ldquo;氨氮”、“揮發(fā)酚”等；根據(jù)需要從而選定、設(shè)定需要的試驗(yàn)參數(shù)）根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)置好每一路的溫度、時(shí)間。（因?yàn)槎趸驔](méi)有重量要求，統(tǒng)一設(shè)置為300或500即可（技術(shù)人員釋疑此問(wèn)）
10、點(diǎn)擊打開(kāi)“加熱參數(shù)”，設(shè)定加熱參數(shù)
11、配方設(shè)置好，請(qǐng)按上圖標(biāo)識(shí)，點(diǎn)擊“保存參數(shù)”，再點(diǎn)擊“使用參數(shù)”；然后點(diǎn)擊“返回”，則再次出現(xiàn)主界面圖示
12、點(diǎn)擊“智能一體化蒸餾儀”字標(biāo)圖示，則出現(xiàn)“智能一體化蒸餾儀”工作界面，然后點(diǎn)擊“開(kāi)始”（點(diǎn)擊“前一模式”---“后一模式”選定配方編號(hào)，為”“氨氮”“揮發(fā)酚”等）
13、點(diǎn)擊“二氧化硫殘留量檢測(cè)儀”字標(biāo)圖示，則出現(xiàn)“二氧化硫殘留量檢測(cè)儀”工作界面，然后點(diǎn)擊“開(kāi)始”（點(diǎn)擊“前一模式”---“后一模式”選定配方編號(hào)，為“二氧化硫”
14、如上圖，在工作界面下，此時(shí)主開(kāi)關(guān)、輔開(kāi)關(guān)、循環(huán)水開(kāi)關(guān)均在接通狀態(tài)。且顯示界面為已經(jīng)設(shè)置好的“配方”：。此時(shí)點(diǎn)擊：“制冷”則制冷壓縮機(jī)工作；點(diǎn)擊“循環(huán)水”則冷凝管內(nèi)會(huì)有冷凝水循環(huán)流動(dòng)（轉(zhuǎn)輪可視）；點(diǎn)擊“攪拌”則液體內(nèi)加入的攪拌子會(huì)轉(zhuǎn)動(dòng)攪拌，并可根據(jù)要求調(diào)速（面板轉(zhuǎn)速控制旋鈕）；分別點(diǎn)擊“加熱”則各路分別加熱并可根據(jù)要求調(diào)溫（面板溫度控制旋鈕）
15、實(shí)驗(yàn)完畢后，依次關(guān)閉面板上的主電源開(kāi)關(guān)、右側(cè)的主電源開(kāi)關(guān)、輔電源開(kāi)關(guān)、循環(huán)水開(kāi)關(guān)即可。zui后拔掉電源插頭
16、如果再做實(shí)驗(yàn)，直接啟動(dòng)儀器，如不改變配方設(shè)置，則按照原來(lái)的配方執(zhí)行（今后就會(huì)顯示出其一體化、功能全面、操作方便的極大優(yōu)點(diǎn)）。
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