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納米精度六軸位移臺-hexaCUBE

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更新時(shí)間：2022-09-16 17:25:06瀏覽次數(shù)：297次

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Quantum Design China(Beijing)

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產(chǎn)品簡介

hexaCUBE位移臺是德國attocube公司生產(chǎn)的能夠提供六個(gè)維度高精度移動樣品的集成位移系統(tǒng)。產(chǎn)品在保證優(yōu)異位移精確度與穩(wěn)定性的同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)樣品六個(gè)維度的自由移動，適用于大氣，高真空到超高真空環(huán)境，行程可達(dá)15mm。最小步50nm，最小傾角變化1μrad。產(chǎn)品十分適合為需要多維度高精度定位的實(shí)驗(yàn)提供幫助。

詳細(xì)介紹

設(shè)備特點(diǎn)

+ 六維度自由移動

+ 厘米級行程，納米級精度的位置控制

+ 閉環(huán)位移器，機(jī)械穩(wěn)定性

+ 50 nm 線性移動精度，1 μrad 傾角精度

+ 特殊材質(zhì)，兼容各種光學(xué)環(huán)境與超高真空環(huán)境

+ 軟件全自動操控

高穩(wěn)定性

行程1mm范圍，高度可重復(fù)性

行程1mm范圍，誤差小于50nm

小范圍內(nèi)，誤差小于10nm

標(biāo)準(zhǔn)配件

AMC100位移控制器

+ 同時(shí)控制六個(gè)方向位移；

+ 結(jié)合attocube專門開發(fā)的

hexaCUBE控制軟件；

+ 兼容Labview；

基本參數(shù)

產(chǎn)品型號	hexaCUBE190
適用環(huán)境	1atm/HV/UHV
位移器尺寸	190×180×105 mm³
負(fù)載	700 g
中心孔距	26 mm
行程	線性x方向 ±15 mm 線性y方向 ±15 mm 線性z方向 ±20 mm 傾角x方向 +33/-19° 傾角y方向 ±21° 傾角z方向 ±19°
精度	線性x,y,z方向 50nm 傾角x,y,z方向 1μrad
材質(zhì)	鋁，不銹鋼，塑料