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GFC 系列氣體質(zhì)量流量控制器結(jié)合一個(gè)直線管狀傳感器和一個(gè)限制流體分子的控制器來提供高精度和重復(fù)性。氣體質(zhì)量流量控制器利用一個(gè)電磁閥和PID電子件保持對(duì)傳感器測(cè)量到的信號(hào)的控制來確定適當(dāng)?shù)牧髁勘嚷?。設(shè)置點(diǎn)能夠通過現(xiàn)場(chǎng)電位器或通過一個(gè)遠(yuǎn)程的0到5VDC或4到20mA模擬信號(hào)來進(jìn)行調(diào)整。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實(shí)際流量將以工程單位顯示在3位數(shù)字，90°旋轉(zhuǎn)的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計(jì)器一起以用于需要測(cè)定流量累計(jì)的場(chǎng)合。GFC系列產(chǎn)品包括一份NIST跟蹤記錄證書。

型號(hào)

流量范圍	流量控制器
流量范圍	鋁	不銹鋼
0-10 SCCM	GFC-1101	GFC-2101
0-20 SCCM	GFC-1102	GFC-2102
0-50 SCCM	GFC-1103	GFC-2103
0-100 SCCM	GFC-1104	GFC-2104
0-200 SCCM	GFC-1105	GFC-2105
0-500 SCCM	GFC-1106	GFC-2106
0-1 L/min	GFC-1107	GFC-2107
0-2 L/min	GFC-1108	GFC-2108
0-5 L/min	GFC-1109	GFC-2109
0-15 L/min	GFC-1111	GFC-2111
0-30 L/min	GFC-1131	GFC-2131
0-50 L/min	GFC-1133	GFC-2133
0-100 L/min	GFC-1142	GFC-2142
0-200 L/min	GFC-1143	GFC-2143
0-500 L/min	GFC-1144	GFC-2144
0-1000 L/min	GFC-1145	GFC-2145