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速度和靈活性兼?zhèn)涫俏^(qū) X 射線熒光光譜的發(fā)展方向

<15µm 超高強(qiáng)度X射線頭，兼具高靈敏度和高空間分辨率
高分辨相機(jī)和多種照明模式成像
雙檢測(cè)器！熒光X射線檢測(cè)器和透射X射線檢測(cè)器
輕元素檢測(cè)器使元素檢測(cè)范圍下延到C元素

XGT-9000是如何保證高性能下的速度和靈活性

激發(fā)系統(tǒng) XGT-9000 以其精心設(shè)計(jì)的激發(fā)系統(tǒng)保證性能和靈活性，X射線發(fā)生器具有高達(dá) 50 kV 和 1000 µA 的高輸出。此外可以通過(guò)我們多樣化的X射線頭提供多種尺寸（10μm - 1.2mm）的激發(fā)用初級(jí) X 射線，其中就包括超高強(qiáng)度X射線頭（probe），以實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量。
光學(xué)圖像抓取清晰的圖像對(duì)于微區(qū)XRF至關(guān)重要，XGT-9000 提供高分辨率相機(jī)，可以獲取整個(gè)樣品及其細(xì)節(jié)顯微鏡水平的圖像。同時(shí)，多種照明模式保證圖像的清晰度，即便是透明或有較強(qiáng)反射的樣品。
樣品倉(cāng) XGT-9000 樣品倉(cāng)可容納各種樣品，包括微型碎片、印刷電路板、硬幣、薄片、粉末、液體、晶圓，并根據(jù)需求提供各種樣品架，此外最多可以選擇 4 種測(cè)量環(huán)境來(lái)提高靈敏度。
檢測(cè)器 XGT 9000提供透射和熒光X射線雙探測(cè)器，透射X射線檢測(cè)器使用戶能夠檢測(cè)樣品的內(nèi)部缺陷和異物，而熒光X射線檢測(cè)器（配置輕元素檢測(cè)器）檢測(cè)范圍可從C到Am。
軟件套件功能強(qiáng)大的XGT 9000 軟件，包括全面完整的基本測(cè)試功能，如單點(diǎn)測(cè)試、多點(diǎn)測(cè)試、線分析和Mapping測(cè)試等。除了基本測(cè)試功能外，還可以在軟件套件中添加高級(jí)模塊，以提供更豐富的用戶體驗(yàn)。多層FPM模塊可以進(jìn)行厚度測(cè)試，有無(wú)標(biāo)樣都可以進(jìn)行 RoHS檢測(cè)模塊用于RoHS要求的有害元素篩查隊(duì)列模塊自動(dòng)進(jìn)行多區(qū)域自動(dòng)測(cè)試顆粒搜尋模塊可以進(jìn)行顆粒分析以及原位分析 LabSpec Link模塊，將數(shù)據(jù)導(dǎo)入到LabSpec 6以進(jìn)行多變量分析

型號(hào)	XGT-9000	XGT-9000SL
基本信息
儀器	微區(qū)X射線熒光分析儀
樣品類(lèi)型	固體、液體、顆粒
檢測(cè)元素	輕元素檢測(cè)器：C* – Am (常規(guī)檢測(cè)器：F – Am)
樣品倉(cāng)尺寸	450(W) x 500(D) x 80(H)	1030(W) x 950(D) x 500(H)
樣品尺寸	300(W) x 250(D) x 80(H)	500(W) x 500(D) x 500(H)
樣品質(zhì)量	1 kg	10 kg
光學(xué)觀察	兩個(gè)帶物鏡的高分辨率相機(jī)
光學(xué)設(shè)計(jì)	垂直同軸 X 射線和光學(xué)觀察
樣品照明/觀察	頂部、底部和側(cè)向照明/明場(chǎng)和暗場(chǎng)
X-射線管
功率	50 W
電壓	50 kV
電流	1 mA
靶材	Rh
X射線光光學(xué)系統(tǒng)
X射線頭數(shù)量	最多配置四個(gè)
光譜優(yōu)化初級(jí)X-射線濾光片	5個(gè)位置
檢測(cè)器
熒光X-射線檢測(cè)器	硅漂移檢測(cè)器（SDD）
透射X射線檢測(cè)器	NaI(Tl)
掃描分析
掃描范圍	100 mm x 100 mm	350 mm x 350 mm
步進(jìn)尺寸	2 mm	4 mm
Operating mode
樣品環(huán)境	全真空/局部真空/大氣環(huán)境/He吹掃（選配）	局部真空/大氣環(huán)境/He吹掃（選配）*He吹掃條件對(duì)于兩個(gè)檢測(cè)器都檢測(cè)到C和F是必要的。