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日本HORIBA 微區(qū)X射線熒光分析儀 XGT-9000

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日本HORIBA 微區(qū)X射線熒光分析儀 XGT-9000 速度和靈活性兼?zhèn)涫俏^(qū) X 射線熒光光譜的發(fā)展方向

詳細(xì)介紹

速度和靈活性兼?zhèn)涫俏^(qū) X 射線熒光光譜的發(fā)展方向

  • <15µm 超高強(qiáng)度X射線頭,兼具靈敏度和空間分辨率
  • 高分辨相機(jī)和多照明模式成像
  • 雙檢測(cè)器!熒光X射線檢測(cè)器和透射X射線檢測(cè)器
  • 輕元素檢測(cè)器使元素檢測(cè)范圍下延C元素

XGT-9000是如何保證高性能下的速度和靈活性

激發(fā)系統(tǒng)

XGT-9000 以其精心設(shè)計(jì)的激發(fā)系統(tǒng)保證性能和靈活性,X射線發(fā)生器具有高達(dá) 50 kV 和 1000 µA 的高輸出。 此外可以通過(guò)我們多樣化的X射線頭提供多種尺寸(10μm - 1.2mm)的激發(fā)用初級(jí) X 射線,其中就包括超高強(qiáng)度X射線頭(probe),以實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量。

光學(xué)圖像

抓取清晰的圖像對(duì)于微區(qū)XRF至關(guān)重要,XGT-9000 提供高分辨率相機(jī),可以獲取整個(gè)樣品及其細(xì)節(jié)顯微鏡水平的圖像。同時(shí),多種照明模式保證圖像的清晰度,即便是透明或有較強(qiáng)反射的樣品。

樣品倉(cāng)

XGT-9000 樣品倉(cāng)可容納各種樣品,包括微型碎片、印刷電路板、硬幣、薄片、粉末、液體、晶圓,并根據(jù)需求提供各種樣品架,此外最多可以選擇 4 種測(cè)量環(huán)境來(lái)提高靈敏度。

檢測(cè)器

XGT 9000提供透射和熒光X射線雙探測(cè)器,透射X射線檢測(cè)器使用戶能夠檢測(cè)樣品的內(nèi)部缺陷和異物,而熒光X射線檢測(cè)器(配置輕元素檢測(cè)器)檢測(cè)范圍可從C到Am。

軟件套件

功能強(qiáng)大的XGT 9000 軟件,包括全面完整的基本測(cè)試功能,如單點(diǎn)測(cè)試、多點(diǎn)測(cè)試、線分析和Mapping測(cè)試等。除了基本測(cè)試功能外,還可以在軟件套件中添加高級(jí)模塊,以提供更豐富的用戶體驗(yàn)。

  • 多層FPM模塊可以進(jìn)行厚度測(cè)試,有無(wú)標(biāo)樣都可以進(jìn)行
  • RoHS檢測(cè)模塊用于RoHS要求的有害元素篩查
  • 隊(duì)列模塊自動(dòng)進(jìn)行多區(qū)域自動(dòng)測(cè)試
  • 顆粒搜尋模塊可以進(jìn)行顆粒分析以及原位分析
  • LabSpec Link模塊,將數(shù)據(jù)導(dǎo)入到LabSpec 6以進(jìn)行多變量分析


型號(hào) XGT-9000 XGT-9000SL
基本信息
儀器 微區(qū)X射線熒光分析儀
樣品類(lèi)型 固體、液體、顆粒
檢測(cè)元素 輕元素檢測(cè)器:C* – Am
(常規(guī)檢測(cè)器:F – Am)
樣品倉(cāng)尺寸 450(W) x 500(D) x 80(H) 1030(W) x 950(D) x 500(H)
樣品尺寸 300(W) x 250(D) x 80(H) 500(W) x 500(D) x 500(H)
樣品質(zhì)量 1 kg 10 kg
光學(xué)觀察 兩個(gè)帶物鏡的高分辨率相機(jī)
光學(xué)設(shè)計(jì) 垂直同軸 X 射線和光學(xué)觀察
樣品照明/觀察 頂部、底部和側(cè)向照明/明場(chǎng)和暗場(chǎng)
X-射線管
功率 50 W
電壓 50 kV
電流 1 mA
靶材 Rh
X射線光光學(xué)系統(tǒng)
X射線頭數(shù)量 最多配置四個(gè)
光譜優(yōu)化初級(jí)X-射線濾光片 5個(gè)位置
檢測(cè)器
熒光X-射線檢測(cè)器 硅漂移檢測(cè)器(SDD)
透射X射線檢測(cè)器 NaI(Tl)
掃描分析
掃描范圍 100 mm x 100 mm 350 mm x 350 mm
步進(jìn)尺寸 2 mm 4 mm
Operating mode
樣品環(huán)境 全真空/局部真空/大氣環(huán)境/He吹掃(選配)

局部真空/大氣環(huán)境/He吹掃(選配)*He吹掃條件對(duì)于兩個(gè)檢測(cè)器都檢測(cè)到C和F是必要的。

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