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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2022-10-21 22:08:42瀏覽次數(shù):141次

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產(chǎn)品簡介

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀 德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。該款測振儀可實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理。 ......

詳細(xì)介紹

  • 儀器詳情
  • 儀器參數(shù)
儀器詳情Particulars
中科匯儀網(wǎng) .cn 從事進口儀器儀表銷售,我們提供豐富的進口儀器儀表種類、有競爭力的產(chǎn)品價格及良好的售后服務(wù)。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。該款測振儀可實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理。


德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品簡介:

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度,以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供準(zhǔn)確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù),在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能,從而縮短設(shè)計周期,簡化故障處理,提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀1.png


德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品特點:

集多功能于一體的光學(xué)測量工作站

實時測量,無需數(shù)據(jù)后處理

的亞pm位移分辨率

測量速度快,振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動化測量,易于集成至商用探針臺上


德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀典型應(yīng)用:

微型結(jié)構(gòu)的面外振動,測量單點振動或者兩點間的相對振動:

如:梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動:

如:梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

微型結(jié)構(gòu)的表面形貌:

如:梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌




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儀器參數(shù)Technical data
中科匯儀網(wǎng),我們會努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯,如技術(shù)參數(shù)中英文有差異,以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀技術(shù)參數(shù):

MSA-600系統(tǒng)配置

基本配置

面外振動*大頻率為2.5 MHz

選配件

頻率擴展

面外振動*大頻率達25 MHz

差分測量

面外振動可進行差分測量

面內(nèi)運動分析

面內(nèi)振動測量

形貌測量

表面形貌測量

面外振動測量


測量原理

激光多普勒原理

型號

MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn))

MSA-600-V (帶寬擴展)

*大頻率

2.5 MHz

25 MHz

檔位數(shù)量

13 個速度檔位

13 個速度檔位

*大振動速度

0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)

0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)

速度分辨率

均值1

0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz,

與檔位和頻率有關(guān)

0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz,

與檔位和頻率有關(guān)

位移分辨率

50 fm/√Hz

50 fm/√Hz

面內(nèi)振動測量


測量原理

頻閃法

型號

MSA-600 帶面內(nèi)振動測量模塊

帶寬

1 Hz … 2.5 MHz

*大速度

> 0.1 m/s … 10 m/s(與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān))

鏡頭放大倍數(shù)2

1x … 100x

位移分辨率3

5 nm

時間分辨率

100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃*大間隔時間±40 ns

系統(tǒng)輸出

位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等

1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計算而來。

2 鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請見后附表格。

3隔振臺上每個頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。

形貌測量

型號

MSA-600 帶形貌測量模塊

垂直測量范圍

250 μm

標(biāo)稱樣本增量

80 nm

評估程序4

光滑表面

粗糙表面

分辨率(RMS) 5

45 pm

1.2 nm

單次測量分辨率(RMS)

300 pm

14 nm

可重復(fù)精度6

500 pm

20 nm

評估平整度

偏差7

< 5 nm

< 50 nm

可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1 (ISO 5436-1)

可重復(fù)精度8

0.07 %

擴展不確定度9

0.35 %

4“光滑表面":自相關(guān)相位評估?!按植诒砻?自相關(guān)譜包絡(luò)線評估

5 、在阻尼振動溫控條件下,對鍍銀、平行對齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差

7、 平面度的平均值(遵循ISO 1101)

8 30次階躍高度測量的均方根偏差,校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。

9、 在重復(fù)條件下,將30次連續(xù)測量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。

光學(xué)部分技術(shù)參數(shù)

MSA-I-600 光學(xué)頭

激光波長

532 nm

激光安全等級

class 3R (可見光輸出小于5 mW)

照明光源波長

470 nm

照明光源

安全等級

class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)

攝像機

全場逐行掃描

攝像機分辨率

1732 x 1200像素

攝像機幀速

*大 56 fps




如需了解更多 德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀 技術(shù)參數(shù)或有任何疑問,請聯(lián)系中科匯儀網(wǎng)工作人員。
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