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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀

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更新時間：2022-10-21 22:08:42瀏覽次數(shù)：141次

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產(chǎn)品簡介

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。該款測振儀可實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理。 ......

詳細(xì)介紹

儀器詳情
儀器參數(shù)

儀器詳情Particulars

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德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。該款測振儀可實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品簡介：

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀是集面外振動、面內(nèi)振動、及表面形貌測量功能于一體的光學(xué)測量工作站。系統(tǒng)具有高靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供準(zhǔn)確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀1.png

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀產(chǎn)品特點：

集多功能于一體的光學(xué)測量工作站

實時測量，無需數(shù)據(jù)后處理

的亞pm位移分辨率

測量速度快，振型可視化顯示

操作界面直觀友好

全自動化測量，易于集成至商用探針臺上

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀典型應(yīng)用：

微型結(jié)構(gòu)的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動：

如：梳齒驅(qū)動器、射頻MEMS開關(guān)、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動：

如：梳齒驅(qū)動器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動

微型結(jié)構(gòu)的表面形貌：

如：梳齒驅(qū)動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌

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儀器參數(shù)Technical data

中科匯儀網(wǎng)，我們會努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

德國Polytec MSA-600顯微式激光測振儀技術(shù)參數(shù)：

MSA-600系統(tǒng)配置
基本配置	面外振動*大頻率為2.5 MHz
選配件
頻率擴展	面外振動*大頻率達25 MHz
差分測量	面外振動可進行差分測量
面內(nèi)運動分析	面內(nèi)振動測量
形貌測量	表面形貌測量

面外振動測量
	測量原理	激光多普勒原理
型號	MSA-600-M (標(biāo)準(zhǔn))	MSA-600-V (帶寬擴展)
*大頻率	2.5 MHz	25 MHz
檔位數(shù)量	13 個速度檔位	13 個速度檔位
*大振動速度	0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)	0.001 m/s … 10 m/s,與檔位有關(guān)
速度分辨率均值1	0.005 (μm/s)/√Hz … 1 (μm/ s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān)	0.005 (μm/s)/√Hz … 2 (μm/s)/√Hz, 與檔位和頻率有關(guān)
位移分辨率	50 fm/√Hz	50 fm/√Hz
面內(nèi)振動測量
	測量原理	頻閃法
型號	MSA-600 帶面內(nèi)振動測量模塊
帶寬	1 Hz … 2.5 MHz
*大速度	> 0.1 m/s … 10 m/s（與鏡頭放大倍數(shù)有關(guān)）
鏡頭放大倍數(shù)2	1x … 100x
位移分辨率3	5 nm
時間分辨率	100 ns (頻閃曝光時間); 頻閃*大間隔時間±40 ns
系統(tǒng)輸出	位移量、波特圖、階躍響應(yīng)、衰減曲線、軌跡圖等

1、均值是根據(jù)所在檔位的*大頻率fmax計算而來。

2、鏡頭的具體技術(shù)參數(shù)請見后附表格。

3、隔振臺上每個頻率512次頻閃次數(shù)的本底噪聲。

形貌測量
型號	MSA-600 帶形貌測量模塊
垂直測量范圍	250 μm
標(biāo)稱樣本增量	80 nm
評估程序4	光滑表面	粗糙表面
分辨率(RMS) 5	45 pm	1.2 nm
單次測量分辨率(RMS)	300 pm	14 nm
可重復(fù)精度6	500 pm	20 nm
評估平整度偏差7	< 5 nm	< 50 nm
可溯源校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)(PTB Type A1 (ISO 5436-1)
可重復(fù)精度8	0.07 %
擴展不確定度9	0.35 %

4、“光滑表面"：自相關(guān)相位評估?！按植诒砻?自相關(guān)譜包絡(luò)線評估

5 、在阻尼振動溫控條件下，對鍍銀、平行對齊平面鏡的50次幅值的均方根值。

6 、稍傾斜平行板(λ/ 20)100次平整度測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差

7、平面度的平均值（遵循ISO 1101）

8 、30次階躍高度測量的均方根偏差，校準(zhǔn)的階躍高度標(biāo)稱為50μm。

9、在重復(fù)條件下，將30次連續(xù)測量值的標(biāo)準(zhǔn)不確定度與標(biāo)稱值偏差相加。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是標(biāo)稱不確定度和測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的二次均方根值。

光學(xué)部分技術(shù)參數(shù)
MSA-I-600 光學(xué)頭
激光波長	532 nm
激光安全等級	class 3R (可見光輸出小于5 mW)
照明光源波長	470 nm
照明光源安全等級	class 2 LED 燈(可見光輸出小于20 mW)
攝像機	全場逐行掃描
攝像機分辨率	1732 x 1200像素
攝像機幀速	*大 56 fps