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CDG200D 電容膜片真空計(jì)

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更新時(shí)間：2022-12-08 16:09:46瀏覽次數(shù)：227次

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CDG200D 電容膜片真空計(jì)SKY® CDG200D 1 ... 1000 托 / 毫巴INFICON SKY CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG200D 真空計(jì)溫度控制在 200 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在 1 乇至 1000 乇滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口，能夠提供 0 至 10伏、不受氣體類......

詳細(xì)介紹

SKY® CDG200D 1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG200D
真空計(jì)溫度控制在 200 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在 1 乇至 1000
乇滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口，能夠提供 0 至 10伏、不受氣體類型限制的線性壓力信號(hào)。 INFICON
電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICON CDG
品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。


益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
  • 輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
  • 診斷端口用于快速維修和維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
  • 的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程
  • 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
  • 需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程

新聞

配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用！


零件號(hào)



規(guī)格

類型 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.4 0.4
溫度效應(yīng)
零點(diǎn) percent FS/°C 0.005 0.005
滿量程 % of reading / °C 0.02 0.02
壓力， kPa (absolute) 400 260
分辨率 percent FS 0.003 0.003
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5
溫度
運(yùn)行（室內(nèi)環(huán)境）(4) °C +10 … +50
在法蘭處烘烤 °C ≤200 ≤200
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時(shí) W ≤25 ≤25
運(yùn)行溫度 W ≤18 ≤18
輸出信號(hào)（模擬） V (dc) 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30
保護(hù)等級(jí) IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) SEMI S2 SEMI S2
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn) V (dc)A (dc) ≤30 ≤30
滯后 percent FS 1 1
診斷端口
協(xié)議 RS232-C RS232-C
讀數(shù) pressure, status, ID pressure, status, ID
設(shè)置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管 cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR® cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT
協(xié)議 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點(diǎn)地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
過(guò)程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™
協(xié)議 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
電纜長(zhǎng)度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
電纜長(zhǎng)度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
電纜長(zhǎng)度 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
技術(shù)規(guī)格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
設(shè)備類型 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I / O 從屬傳訊 polling only polling only
真空計(jì) D 型連接器的電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 連接器 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG（模擬輸出、CDG 電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP
波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 連接器 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 25 °C 環(huán)境溫度時(shí)非線性、滯后、可重復(fù)，運(yùn)行 2 小時(shí)后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。

(2) 增加 10 … 90 % FS

(3) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵

, 環(huán)境溫度 >40°C 可增大表面溫度高于 SEMI S2 的規(guī)定值

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