Transpector MPS 殘余氣體分析儀Transpector MPS 殘余氣體分析儀氣體分析標準為一般真空應用帶來性能和非凡價值隨著制造技術的進步和質量標準的變更，了解相關過程和保持產品質量比以往任何時候都顯得更為重要。Transpector MPS 能夠通過過程條件監(jiān)控、污染檢測和泄露檢查，幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS 為客戶提供了 Transpector 品......

詳細介紹

Transpector MPS 殘余氣體分析儀

氣體分析標準

為一般真空應用帶來性能和非凡價值
隨著制造技術的進步和質量標準的變更，了解相關過程和保持產品質量比以往任何時候都顯得更為重要。Transpector
MPS 能夠通過過程條件監(jiān)控、污染檢測和泄露檢查，幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS 為客戶提供了 Transpector 品牌可靠的、價值非凡的
RGA 性能。

Transpector MPS
提供 100 amu 和 200 amu 型號，使您能夠靈活地執(zhí)行一般泄露檢測、真空診斷和碳氫化合物分析等各種功能。此多功能性使 Transpector MPS
成為真空爐、熱處理和真空涂層應用的理想選擇。

功能

雙絲極
可現(xiàn)場更換電子倍增器
可現(xiàn)場更換陽極、陰極和反射極絲極組件
可調換傳感器和電子元件
TCP/IP 以太網連接
較短的傳感器可降低安裝占地面積
九個數(shù)量級的動態(tài)量程
模擬掃描和所選峰值的 3 ms 每點數(shù)據(jù)率
<1.5E-14 Torr 的 MDPP
傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝
符合 RoHS 標準

規(guī)格

類型	MPS100F	MPS100M	MPS200F	MPS200M
傳感器長度	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
質量范圍	100 amu	100 amu	200 amu	200 amu
檢測器類型	FC	EM	FC	EM
靈敏度 (FC)	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr	3E-4 amps/Torr
靈敏度 (EM)	NA	500 amps/Torr	NA	500 amps/Torr
最小可檢測分壓	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr	2.6E-12 Torr	1.5E-14 Torr
傳感器工作溫度(FC)	200 °C	NA	200 °C	NA
傳感器工作溫度(EM)	NA	150 °C	NA	150 °C
絲極類型選件	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments	Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1)	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide	<1 amu Wide
溫度系數(shù) (2)	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C	<1% per °C
每點數(shù)據(jù)率	3 ms	3 ms	3 ms	3 ms
零沖擊（位于質量 2）	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm	<100 ppm
工作壓力	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
烘烤溫度	300 °C	300 °C	300 °C	300 °C
功率輸入	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC