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SID4紫外高分辨率波前傳感器

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更新時(shí)間：2024-02-28 13:26:06瀏覽次數(shù)：112次

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深圳維爾克斯光電有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

基于Phasics的SID4四波橫向剪切干涉技術(shù)所開(kāi)發(fā)的技術(shù)，高分辨率波前傳感器SID4-UV可覆蓋190-400 nm紫外檢測(cè)波段，在紫外線光譜中提供了的高分辨率（355x280測(cè)量點(diǎn)）和非常高的靈敏度（1 nm RMS）。為波前像差、波前畸變的檢測(cè)以及激光光束及波前探測(cè)、分析提供了全新方案。

詳細(xì)介紹

190-400nm紫外相應(yīng)高靈敏度的紫外高分辨率波前分析儀

基于的技術(shù)，法國(guó)Phasics公司的波前傳感器具備高靈敏度及高相位分辨率的特點(diǎn)，即插即用的適用類(lèi)型適用于大多數(shù)用戶的應(yīng)用環(huán)境。法國(guó)Phasics公司為用戶提供兩款紫外檢測(cè)波前分析儀，SID4-UV和SID4-UV-HR。

相比之下，SID4-UV適用于250-400 nm波段的紫外光譜，250 × 250的取樣分辨率、2 nm RMS的相位靈敏度以及7.4 × 7.4 mm2的靶面面積足以滿足大部分用戶需求，相比于SID4-UV-HR更具備成本效益，在滿足用戶使用需求的前提下有效的節(jié)約用戶成本。

其中SID4-UV-HR作為SID4-UV的增強(qiáng)款，該設(shè)備在190-400 nm的紫外波段有著的相位分辨率（355×280取樣分辨率）、的相位靈敏度（優(yōu)于1 nm RMS）以及更大的靶面面積（13.8 x 10.88 mm2）。這使得SID4-UV-HR適用于光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域，尤其適用于透鏡或晶圓等的光學(xué)組件表征以及波前像差，波前曲線的波前探測(cè)需求。

高分辨率波前傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：

-天文觀測(cè)

-航空航天工業(yè)

-半導(dǎo)體加工

-工業(yè)激光

-光學(xué)元件及組裝

-增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)-虛擬現(xiàn)實(shí)

SID4-UV高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：

型號(hào)	SID4-UV
波長(zhǎng)范圍	250 - 400 nm
靶面尺寸	7.4 x 7.4 mm2
空間分辨率	29.6 µm
取樣分辨率	250 x 250
相位分辨率	2 nm RMS
精度	10 nm RMS
取樣速度	30 fps
實(shí)時(shí)處理速度*	> 2 fps (全分辨率下)*
接口種類(lèi)	以太網(wǎng)口
尺寸（寬x高x長(zhǎng)）	78 x 88.1 x 71.1 mm3
重量	約575g

*使用電腦搭載SID4軟件環(huán)境下

高分辨率波前傳感器主要特點(diǎn)：

-190-400 nm紫外波段響應(yīng)

-1 nm RMS高相位靈敏度

-355 × 280超高相位取樣分辨率

紫外波前分析儀主要特點(diǎn)：

-250 - 400 nm紫外波段響應(yīng)

-2 nm RMS高相位靈敏度

-250 × 250超高相位取樣分辨率

高分辨率波前傳感器產(chǎn)品應(yīng)用：

-激光檢測(cè)

-自適應(yīng)光學(xué)檢測(cè)

-等離子體檢測(cè)

-光學(xué)元件及光學(xué)系統(tǒng)計(jì)量

SID4-UV-HR高分辨率波前傳感器產(chǎn)品規(guī)格：

型號(hào)	SID4-UV-HR
波長(zhǎng)范圍	190 - 400 nm
靶面尺寸	13.8 x 10.88 mm2
空間分辨率	38.88 µm
取樣分辨率	355 x 280
相位分辨率	1 nm RMS
精度	10 nm RMS
取樣速度	30 fps
實(shí)時(shí)處理速度*	> 3 fps (全分辨率下)*
接口種類(lèi)	CameraLink
尺寸（寬x高x長(zhǎng)）	51 x 51.1 x 76 mm3
重量	約300g