EK系列的手動(dòng)顯微鏡平臺(tái)是專為直立和倒置顯微鏡所設(shè)計(jì)，其行程范圍為300 x 300 mm。行程范圍超過150 x 150 mm的Marzhauser顯微鏡平臺(tái)配備了獲得的快速調(diào)節(jié)裝置，即使在較大的行程范圍內(nèi)，仍可保證精準(zhǔn)的工作狀態(tài)。

詳細(xì)介紹

EK系列，應(yīng)用于反射/透射光應(yīng)用的手動(dòng)顯微鏡平臺(tái)

Marzhauser Wetzlar作為德國(guó)老牌顯微鏡平臺(tái)生產(chǎn)廠商，與四大顯微鏡品牌Nikon，Olympic，Zeiss，Leica均可匹配適用，可作為手動(dòng)顯微鏡平臺(tái)用于反射/透射光應(yīng)用，用戶可根據(jù)不同的使用環(huán)境選擇相匹配的樣品架，除玻璃板和金屬板以外，Marzhauser為用戶提供適用于不同尺寸的晶圓裝載架，允許用戶搭載不同尺寸的晶圓。行程范圍從100 mm到300 mm范圍內(nèi)可選，的晶圓夾持器需要搭載相應(yīng)的轉(zhuǎn)接件安裝使用，允許用戶對(duì)平臺(tái)進(jìn)行集成應(yīng)用，并不局限于顯微鏡型號(hào)的匹配。EK系列手動(dòng)顯微鏡平臺(tái)僅適用于正置顯微鏡的裝配，且該系列產(chǎn)品無(wú)形成反饋，作為顯微鏡手動(dòng)平臺(tái)，具有經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的價(jià)格優(yōu)勢(shì)。

Marzhauser顯微鏡平臺(tái)的一個(gè)特色功能是：大尺寸行程的平臺(tái)在搭載12"晶圓的情況下仍可保持較高的精度，行程超過150 x 150毫米的平臺(tái)配備有的調(diào)整旋桿，即使在更大的旅行范圍內(nèi)仍能得到更快的調(diào)整速度，調(diào)整旋桿的同軸驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)更加方便用戶操作使用。

手動(dòng)顯微鏡平臺(tái) EK100 ×100（正置顯微鏡）

訂購(gòu)型號(hào)	00-22-401-0000
行程	102 ×102 mm（max）
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)/齒條-小齒輪
材料	鋁
重量	~1.6 kg
承重	5.0 kg

適用顯微鏡型號(hào)：

Leica	Nikon	Olympus	Zeiss
DM2000	E800	BX40	Axioplan
DM2500	Eclipse E400	BX50	Axioplan 2
DM2500M	Eclipse E600	BX60	Axioskop
DMLA	SMZ1000	SZX10	Axioskop 2 MAT
DMLB	SMZ1500	SZX12	Axioskop 2 MOT
DMLM	SMZ800	SZX16	Axioskop 20
DMLS		SZX7	Axioskop 40
DMR…		SZX9	Axiotech 100
DMRB			Stemi 2000 / 2000C
MS5
MZ12.5
MZ16/MZ16A
MZ7.5
MZ9.5

可匹配樣品架

訂購(gòu)型號(hào)	尺寸	描述	可適配平臺(tái)型號(hào)
00-29-401-8010	116 × 116 × 7 mm	單玻片樣品架 76 × 26 mm/3“× 1"	SCAN 75 × 50 SCAN 100 × 100 EK 100 × 100
00-24-401-0810	116 × 116 × 3 mm	玻璃板
00-24-401-0011	116 × 116 × 3 mm	金屬板	SCAN 75 ×50
00-29-400-6000		樣品保持架4“
00-29-440-8000	116 x 116 mm x 13,2 mm (L x W x T)	晶圓夾持器需要適配器（metal plate 116 x 116 mm (L x W)）材料：鋁、鋼和塑料表面涂層：陽(yáng)極涂層，黑色漆	Ek 100 x 100 SCANplus 100 x 100

手動(dòng)顯微鏡平臺(tái) EK 150 × 150（正置顯微鏡）

訂購(gòu)型號(hào)	00-23-601-0000
行程	153 x 153 mm (6" x 6")（max）
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)/齒條-小齒輪具有的粗調(diào)
材料	鋁
重量	3,000 g
承重	5,000 g

適用顯微鏡型號(hào)：無(wú)

可匹配樣品架

訂購(gòu)型號(hào)	尺寸	描述	可適配平臺(tái)型號(hào)
00-24-601-0810	168 × 168 × 3 mm	玻璃板
00-24-601-0011	168 × 168 × 3 mm	金屬板	SCAN 150 ×150
00-29-650-8000	168 x 168 x 24,5 mm (D x T)	真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，5"、6"晶圓）需要適配器（meta plate 168 x 168 mm (L x W)）	EK 150 x 150 MTM 150 x 150 MR SCAN 150 x 15
00-29-640-8000	168 x 168 mm x 16,2 mm (L x W x T)	真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，5"、6"晶圓）需要適配器（metal plate 168 x 168 (L x W)）	EK 150 x 150 MTM 150 x 150 MR SCAN 150 x 150

手動(dòng)顯微鏡平臺(tái) EK200 ×200（正置顯微鏡）

訂購(gòu)型號(hào)	00-23-801-0000
行程	205 × 205 mm (8“ × 8“)（max）
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)/齒條-小齒輪具有的粗調(diào)
材料	鋁
重量	~6.3 kg
承重	5.0 kg

適用顯微鏡型號(hào)：

Leica	Nikon	Olympus	Zeiss
		MX50
		MX50L
		MX61

可匹配樣品架

訂購(gòu)型號(hào)	尺寸	描述	可適配平臺(tái)型號(hào)
00-24-801-0810	246 x 246 x 4 mm	玻璃板
00-24-801-0011	246 x 246 x 6 mm	金屬板	SCAN 200 x 200
00-29-850-8000	200,4 x 200,4 x 24,5 mm (L x W x T)	真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，6"、8"晶圓）需要適配器（metal plate 246 x 246 mm (L x W)）	EK 200 x 200 SCAN 200 x 200
00-29-340-8000	300,4 x 16 mm (D x T)	真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，6"、8"、12"晶圓）需要適配器（metal plate 246 x 246 mm (L x W)）	EK 200 x 200 SCAN 200 x 200
00-29-840-8000	246 x 246 mm x 16 mm (L x W x T)	真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，5"、6"、8"晶圓）需要適配器（metal plate 246 x 246 mm (L x W)）	EK 200 x 200 MTM 200 x 200 MR SCAN 200 x 200

手動(dòng)顯微鏡平臺(tái) EK300 ×300（正置顯微鏡）

訂購(gòu)型號(hào)	00-23-012-0000
行程	305 × 305 mm (12“ × 12“)（max）
驅(qū)動(dòng)	同軸驅(qū)動(dòng)/齒條-小齒輪
材料	鋁
重量	~18 kg
承重	5.0 kg