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高精度勻膠機(jī)-300mm

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高精度勻膠機(jī)Polos300是300mm單片勻膠機(jī)SPINCOATER,專為MEMS、半導(dǎo)體、光伏、微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻

詳細(xì)介紹

高精度勻膠機(jī)Polos300 是300mm單片勻膠機(jī)SPIN COATER,專為MEMS、半導(dǎo)體、光伏、微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
高精度勻膠機(jī)采用全塑料無(wú)縫構(gòu)建，外殼采用天然聚丙烯（NPP）或可選PTFE，適用于處理5mm到小于等于300mm的晶圓襯底或8''x 8”的方形基板。
高精度勻膠機(jī)特點(diǎn)
•自動(dòng)化學(xué)品分配：
•通過(guò)多達(dá)6個(gè)噴嘴分配液體
•每個(gè)都可編程，用于順序或并行分配
•透明/透明圓頂ECTFE蓋，帶集成N2噴淋清洗
•天然聚丙烯（NPP）無(wú)縫全塑料外殼
•高耐化學(xué)性PTFE（TFM）無(wú)縫全塑料外殼
•臺(tái)式旋涂機(jī)型號(hào)：尺寸：43cm（寬）x 65cm（深）x 31cm（高）
•基板晶片尺寸：碎片和基板360mm或8“x8”
•重型伺服控制電機(jī)：
•確?？芍貜?fù)的轉(zhuǎn)速
•轉(zhuǎn)速可調(diào)，1至10000 rpm
•順時(shí)針和逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)
•用于顯影的puddle功能
•通過(guò)帶手套的手指友好型全尺寸鍵盤(pán)和LED背光顯示屏，輕松逐步編程
•可編程數(shù)字過(guò)程控制器：
•存儲(chǔ)多個(gè)程序，每個(gè)程序包含99步配方，用于：
•速度1-10.000rpm、時(shí)間、加速度
•真空開(kāi)/關(guān)
•繼電器打開(kāi)/關(guān)閉
•多用戶訪問(wèn)級(jí)別
•2個(gè)可編程開(kāi)/關(guān)開(kāi)關(guān)輸出eg.用于分配開(kāi)/關(guān)、氮?dú)忾_(kāi)/關(guān)等。
•排水連接
•符合CE標(biāo)準(zhǔn)
高精度勻膠機(jī)規(guī)格參數(shù)
程序數(shù)：無(wú)限制
程序的步進(jìn)數(shù)：無(wú)限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，puddle浸置式
加速度：30000rpm/s
旋涂時(shí)間：無(wú)限制
外殼材質(zhì)：NPP或PTFE
旋涂室材質(zhì)：NPP或PTFE
外部鏈接：1個(gè)USB接口連接控制器
襯底直徑：360mm圓形或8''x8''方形
旋涂室直徑：402mm
430 (w) x 310 (h) x 650 (d) mm
重量：32kg
供電要求：200-240VAC
功耗：1800W
真空：- 80 kPa (-24 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD Ø8mm