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UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

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更新時間：2022-11-24 17:14:14瀏覽次數(shù)：169次

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產(chǎn)品簡介

UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)，整機研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

產(chǎn)品名稱	UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無 4、工作臺：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要
主要特點	1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。 2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.01mm）。 3、設(shè)有兩個加工工位，可分別進行控制。 4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。 5、配置自動滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動研磨和拋光。 6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。
技術(shù)參數(shù)	主機部分		GPC-100A精密磨拋控制儀		自動滴料器
	1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個 5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環(huán):φ127.5mm		1、載樣盤直徑：Ø103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數(shù)顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調(diào)加載壓力： 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外徑146mm，高266mm		SKZD-2滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg SKZD-4自動滴料器 1、加液泵：4個 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計時范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg
產(chǎn)品規(guī)格	1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	鑄鐵研磨盤		1個
	2	不銹鋼拋光盤		1個
	3	載物盤		1個
	4	修盤環(huán)		1個
	5	SKZD-2滴料器		1個
	6	SKZD-4自動滴料器		1個
	7	GPC-100A精密磨拋控制儀		1個
	8	拋光墊（磨砂革、合成革、聚氨酯）		各1片
	9	剛玉研磨微粉		0.5kg
	10	石蠟棒		4根
可選配件	1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵 2、精密測厚儀 3、陶瓷研磨盤 4、玻璃研磨盤 5、磁性樹脂金剛石研磨片