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HVC-SS高真空腔體

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更新時(shí)間：2023-06-30 11:02:50瀏覽次數(shù)：197次

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

HVC-SS高真空腔體

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：HVC-SS高真空腔體用于自行搭建實(shí)驗(yàn)真空系統(tǒng)，如等離子濺射、CVD或ALD等實(shí)驗(yàn)，同時(shí)也可作為高真空儲存箱。

產(chǎn)品型號	HVC-SS高真空腔體
技術(shù)參數(shù)	1、真空腔體：304不銹鋼 2、內(nèi)部尺寸：372mm×420mm×480mm 3、腔門：采用硅膠密封圈密封，直徑Ø350mm，且門上設(shè)有Ø150mm的玻璃窗口 4、真空度：可達(dá)1×10^-6torr 5、加熱溫度：內(nèi)部加熱平臺溫度可達(dá)到150℃ 6、接口：腔體后端有1個(gè)KF40接口（用于連接真空泵），頂部有1個(gè)1/4NPS（頂板可進(jìn)行打孔和改造，以便于　　　　　安裝各種接口和接頭，可在本司購買快速真空接頭）
產(chǎn)品規(guī)格
可選配件	1、防腐型數(shù)字式真空計(jì)（進(jìn)口，不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換） 2、分子泵系統(tǒng) 3、快速真空接頭